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Materialforschung mit Positronen: Von der Doppler-Spektroskopie zur

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das <strong>der</strong> Masse 2, obwohl in diesem absolut gesehen um den Faktor 50 bis 100 mehr Deuterium<br />

enthalten ist. Dieser Faktor läßt sich aus dem Verhältnis <strong>der</strong> Fläche unter dem Rißspitzensignal<br />

bei Masse 3 und <strong>der</strong> Fläche bei Masse 2 nach Abzug eines linearen H 2 -Untergrundes<br />

abschätzen.<br />

Die Literaturwerte <strong>der</strong> Diffusionskonstante von Wasserstoff in Aluminium liegen zwischen<br />

10 -10 cm 2 /s und 10 -7 cm 2 /s [411]. Da Wasserstoff in Defekten <strong>mit</strong> offenem Volumen (Leerstellen,<br />

Jogs, etc.) eingefangen wird, liegt es nahe, von einer niedrigen Diffusionskonstante in <strong>der</strong><br />

Größenordnung von 10 -10 cm 2 /s in <strong>der</strong> plastischen Zone auszugehen. Der Sägeschnitt erfolgte<br />

quer zum Riß über die Rißspitze <strong>mit</strong> einer Schnittbreite von 500µm, was einer Diffusionszeit<br />

von 4 Stunden bei Raumtemperatur entspricht. Daraus läßt sich eine <strong>mit</strong>tlere Diffusionslänge<br />

von ~30µm abschätzen [409]. Die Zeit in <strong>der</strong> Wasserstoffsäge bei -20°C spielt im Vergleich<br />

dazu keine Rolle.<br />

Durch diesen Versuch wird die im letzten Kapitel aus <strong>Positronen</strong>messungen gewonnene Erkenntnis<br />

unterstützt, daß Wasserstoff unter korrosiven Bedingungen in die frische Oberfläche<br />

einer Rißspitze eindiffundieren kann. Während eine, wenn auch geringe, Konzentration von<br />

Wasserstoff bereits vor dem Versuch in <strong>der</strong> Probe vorhanden ist, kann das Deuterium nur<br />

während <strong>der</strong> Rißerzeugung in die Legierung gelangt sein. Durch die Verwendung von deuterierter<br />

NaCl-Lösung wird dieser Effekt aus dem Untergrund des allgegenwärtigen leichten<br />

Wasserstoffs herauspräpariert.<br />

4.6 Plastizität im "spröden" Halbleiter GaAs<br />

<strong>Positronen</strong> eignen sich nicht nur <strong>zur</strong> Messung <strong>der</strong> Plastizität in Metallen und Legierungen,<br />

son<strong>der</strong>n können auch bei <strong>der</strong> Untersuchung mechanischer Schädigung in Halbleitern angewandt<br />

werden. Im Gegensatz zu Metallen können Gitterfehler im Halbleiter eine lokale Ladung<br />

besitzen. Ist diese positiv, wirkt sie auf <strong>Positronen</strong> abstoßend, und <strong>der</strong> Gitterfehler ist in<br />

<strong>Positronen</strong>messungen unsichtbar.<br />

GaAs ist bei Raumtemperatur und Normaldruck ein äußerst sprödes Material, das außerdem<br />

sehr gut entlang <strong>der</strong> {110}-Ebenen spaltbar ist. Dieses spröde Verhalten ist den meisten Halbleitern<br />

gemeinsam und steht im Gegensatz zu Metallen und Legierungen, die bei Raumtemperatur<br />

meist duktile Eigenschaften zeigen. Unter Normaldruck verhält sich GaAs erst jenseits<br />

von 490°C duktil [412]. Unter höheren Drücken um und unter 1GPa und Temperaturen unterhalb<br />

Raumtemperatur werden jedoch ebenfalls duktile Eigenschaften gefunden [413].<br />

Bei <strong>der</strong> Herstellung von Wafern für die Mikroelektronik aus GaAs spielen die mechanischen<br />

Eigenschaften eine große Rolle. GaAs-Einkristalle werden entwe<strong>der</strong> nach dem Czochralskio<strong>der</strong><br />

dem Bridgeman-Verfahren gezogen [414], und dann <strong>mit</strong> einer Diamantdrahtsäge in Wafer<br />

zerteilt. Dies resultiert in einer stark geschädigten Oberfläche, die ein nachträgliches mechanisches<br />

o<strong>der</strong> chemomechanisches Polieren nötig macht [415]. Bei <strong>der</strong> Beurteilung dieser<br />

Verfahren spielt sowohl eine hohe Güte <strong>der</strong> Oberfläche, als auch ein geringer Materialverlust<br />

eine Rolle. Insbeson<strong>der</strong>e darf die Oberfläche keine signifikanten Konzentrationen an Gitterdefekten<br />

aufweisen, da diese die elektronischen Eigenschaften des Halbleiters verän<strong>der</strong>n. Beim<br />

zweikomponentigen GaAs existieren sechs Typen von intrinsischen Punktdefekten: Leerstellen<br />

auf den beiden Untergittern V As , V Ga , die beiden Antistrukturdefekte As Ga und Ga As sowie<br />

Zwischengitteratome bei<strong>der</strong> Atomspezies As i , Ga i . Aus Abweichungen <strong>der</strong> idealen Stöchiometrie<br />

von 1:1 folgt Art und Konzentration <strong>der</strong> dominierenden Punktdefekte und da<strong>mit</strong> die<br />

Lage des Fermi-Niveaus in <strong>der</strong> Bandlücke.<br />

110

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