Materialforschung mit Positronen: Von der Doppler-Spektroskopie zur
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das <strong>der</strong> Masse 2, obwohl in diesem absolut gesehen um den Faktor 50 bis 100 mehr Deuterium<br />
enthalten ist. Dieser Faktor läßt sich aus dem Verhältnis <strong>der</strong> Fläche unter dem Rißspitzensignal<br />
bei Masse 3 und <strong>der</strong> Fläche bei Masse 2 nach Abzug eines linearen H 2 -Untergrundes<br />
abschätzen.<br />
Die Literaturwerte <strong>der</strong> Diffusionskonstante von Wasserstoff in Aluminium liegen zwischen<br />
10 -10 cm 2 /s und 10 -7 cm 2 /s [411]. Da Wasserstoff in Defekten <strong>mit</strong> offenem Volumen (Leerstellen,<br />
Jogs, etc.) eingefangen wird, liegt es nahe, von einer niedrigen Diffusionskonstante in <strong>der</strong><br />
Größenordnung von 10 -10 cm 2 /s in <strong>der</strong> plastischen Zone auszugehen. Der Sägeschnitt erfolgte<br />
quer zum Riß über die Rißspitze <strong>mit</strong> einer Schnittbreite von 500µm, was einer Diffusionszeit<br />
von 4 Stunden bei Raumtemperatur entspricht. Daraus läßt sich eine <strong>mit</strong>tlere Diffusionslänge<br />
von ~30µm abschätzen [409]. Die Zeit in <strong>der</strong> Wasserstoffsäge bei -20°C spielt im Vergleich<br />
dazu keine Rolle.<br />
Durch diesen Versuch wird die im letzten Kapitel aus <strong>Positronen</strong>messungen gewonnene Erkenntnis<br />
unterstützt, daß Wasserstoff unter korrosiven Bedingungen in die frische Oberfläche<br />
einer Rißspitze eindiffundieren kann. Während eine, wenn auch geringe, Konzentration von<br />
Wasserstoff bereits vor dem Versuch in <strong>der</strong> Probe vorhanden ist, kann das Deuterium nur<br />
während <strong>der</strong> Rißerzeugung in die Legierung gelangt sein. Durch die Verwendung von deuterierter<br />
NaCl-Lösung wird dieser Effekt aus dem Untergrund des allgegenwärtigen leichten<br />
Wasserstoffs herauspräpariert.<br />
4.6 Plastizität im "spröden" Halbleiter GaAs<br />
<strong>Positronen</strong> eignen sich nicht nur <strong>zur</strong> Messung <strong>der</strong> Plastizität in Metallen und Legierungen,<br />
son<strong>der</strong>n können auch bei <strong>der</strong> Untersuchung mechanischer Schädigung in Halbleitern angewandt<br />
werden. Im Gegensatz zu Metallen können Gitterfehler im Halbleiter eine lokale Ladung<br />
besitzen. Ist diese positiv, wirkt sie auf <strong>Positronen</strong> abstoßend, und <strong>der</strong> Gitterfehler ist in<br />
<strong>Positronen</strong>messungen unsichtbar.<br />
GaAs ist bei Raumtemperatur und Normaldruck ein äußerst sprödes Material, das außerdem<br />
sehr gut entlang <strong>der</strong> {110}-Ebenen spaltbar ist. Dieses spröde Verhalten ist den meisten Halbleitern<br />
gemeinsam und steht im Gegensatz zu Metallen und Legierungen, die bei Raumtemperatur<br />
meist duktile Eigenschaften zeigen. Unter Normaldruck verhält sich GaAs erst jenseits<br />
von 490°C duktil [412]. Unter höheren Drücken um und unter 1GPa und Temperaturen unterhalb<br />
Raumtemperatur werden jedoch ebenfalls duktile Eigenschaften gefunden [413].<br />
Bei <strong>der</strong> Herstellung von Wafern für die Mikroelektronik aus GaAs spielen die mechanischen<br />
Eigenschaften eine große Rolle. GaAs-Einkristalle werden entwe<strong>der</strong> nach dem Czochralskio<strong>der</strong><br />
dem Bridgeman-Verfahren gezogen [414], und dann <strong>mit</strong> einer Diamantdrahtsäge in Wafer<br />
zerteilt. Dies resultiert in einer stark geschädigten Oberfläche, die ein nachträgliches mechanisches<br />
o<strong>der</strong> chemomechanisches Polieren nötig macht [415]. Bei <strong>der</strong> Beurteilung dieser<br />
Verfahren spielt sowohl eine hohe Güte <strong>der</strong> Oberfläche, als auch ein geringer Materialverlust<br />
eine Rolle. Insbeson<strong>der</strong>e darf die Oberfläche keine signifikanten Konzentrationen an Gitterdefekten<br />
aufweisen, da diese die elektronischen Eigenschaften des Halbleiters verän<strong>der</strong>n. Beim<br />
zweikomponentigen GaAs existieren sechs Typen von intrinsischen Punktdefekten: Leerstellen<br />
auf den beiden Untergittern V As , V Ga , die beiden Antistrukturdefekte As Ga und Ga As sowie<br />
Zwischengitteratome bei<strong>der</strong> Atomspezies As i , Ga i . Aus Abweichungen <strong>der</strong> idealen Stöchiometrie<br />
von 1:1 folgt Art und Konzentration <strong>der</strong> dominierenden Punktdefekte und da<strong>mit</strong> die<br />
Lage des Fermi-Niveaus in <strong>der</strong> Bandlücke.<br />
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