Spektroskopia pojemnościowa wybranych defektów w ...

odwrotności stałej czasowej emisji nośników z pułapek τ , moŜna zaobserwować linię sygnałuDLTS.Rys. 2.8. Porównawczy wykres sygnałuwejściowego z eksperymentu spektroskopiiniestacjonarnej z trzema róŜnymifunkcjami wagowymi; według [19].Rys. 2.9. Zasada działania metody pomiarowejLock-in DLTS: sekwencja napięć przykładanychdo złącza – (a); mierzony przebieg zmianpojemności – (b); funkcja wagowa – (c);według [19].W pomiarze DLTS złącze jest spolaryzowane zaporowo napięciemVR. W stałychodstępach czasu t 0 (tzw. czas powtarzania) polaryzacja zaporowa złącza jest zmniejszanapoprzez przyłoŜenie impulsu napięciowego V 1 ; rys.2.9 (a). Czas trwania impulsu napięciowegoV 1 wynosi t p . Długość tego czasu musi spełniać warunek:gdzie t p jest czas trwania impulsu zapełniającego V 1 .t p≤ 0.05t, (2.26)W celu uniknięcia sytuacji, w której duŜa zmiana pojemności złącza podczas impulsuzapełniającego moŜe spowodować przeciąŜenie integratora, w metodzie Lock-in DLTSwprowadza się czas tG(zwany „czasem martwym”), w którym „lock-in” jest odłączony odpróbki (na rys. 2.9 (b) wycięcia na początku i w środku przebiegu nierównowagowej pojemnościzłącza), co pozwala wykluczać z pomiaru fazę zapełniania pułapek oraz początek fazy emisji026