Spektroskopia pojemnościowa wybranych defektów w ...

pola elektrycznego, które istnieje w tym przedziale głębokości. Przykładając zapełniająceimpulsy napięciowe o róŜnych amplitudach istnieje moŜliwość zmieniania pola elektrycznego wobszarze ładunku przestrzennego od prawie zera do wartości maksymalnej.Metoda DDLTS jest modyfikacją metody niestacjonarnej spektroskopii pojemnościowejz uŜyciem podobnej do zastosowanej w metodzie DLTS korelacji Langa [28]. Na rys. 3.1przedstawiono zasadę działania metody pomiarowej DDLTS.Rys. 3.1. Zasada działania metody pomiarowej DDLTS: sekwencja napięć przykładanych dozłącza – (a); mierzony przebieg zmian pojemności – (b); funkcja wagowa typu „box-car” – (c);według [28].Do zapełniania nośnikami głębokich poziomów w obszarze ładunku przestrzennego w metodzieDDLTS wykorzystuje się dwa impulsy zapełniające V 1 i V’ 1 o róŜnych amplitudach; rys. 3.1 (a).Wartości pojemności C’(t 1 ), C(t 1 ) oraz C’(t 2 ), C(t 2 ), otrzymane po przyłoŜeniu dwóch impulsówzapełniających o róŜnych amplitudach, są poddane pierwszej korelacji tworząc róŜnice zmian33