Spektroskopia pojemnościowa wybranych defektów w ...

generator podawania impulsów zapełniających V 1 i V 2 o amplitudach od -20V do + 20V, czasachtrwania od 100 ns do 50 ms i częstotliwościach powtarzania od 0.25 Hz do 2500 Hz.Spektrometr jest połączony z komputerem za pomocą interfejsu GPIB. Dzięki temumoŜliwe jest przekazanie parametrów pomiaru oraz wyników pomiaru ze spektrometru dokomputera. Odpowiednie oprogramowanie do spektrometru DLS-82E pozwala przeprowadzićanalizę komputerową uzyskanych wyników pomiarowych w zaleŜności od wariantówpomiarowych. Za pomocą komputerowej obróbki i interpretacji danych pomiarowych moŜna wsposób bezpośredni otrzymać informację na temat badanych głębokich pułapek nośnikówładunku oraz ułatwić ich identyfikację.Układ kriogeniczny spektrometru zawiera naczynie Dewara zastosowane do uŜycia wnim ciekłego azotu (od 77 K do 450 K), w którym zanurzona jest głowica pomiarowa wraz zbadaną próbką.Oscyloskop analogowy jest zastosowany do pokazywania procesu pomiarowego orazkontroli ustawienia czasu trwania oraz częstotliwości powtarzania impulsów zapełniających.2.6. Efekt krawędziowy.W tym podrozdziale będą omówione ograniczenia dotyczące równania (2.21) oraz napodstawie [25] pokazana poprawka do wzoru na koncentrację głębokich pułapek.Rozpatrujemy obszar ładunku przestrzennego złącza Schottky’ego; rys. 2.11.Podwójne całkowanie równania Poissona w obszarze ładunku przestrzennego prowadzido:gdzie:VR+ Vbi=WR −∫λR∫N ( x)⋅ xdx + N ( x)⋅ xdx , (2.31)tW0 0d1/ 2⎡2εε( ) ⎤oEF− Etλ = ⎢ 2 ⎥(2.32)⎣ e Nd ⎦jest przykrawędziową częścią obszaru ładunku przestrzennego w warunkach polaryzacjizaporowej, w którym poziom głębokich pułapek znajduje się poniŜej poziomu Fermiego i nie sąone zjonizowane.Natychmiast po zakończeniu impulsu zapełniającego, zmniejszającego napięcie zaporowe V R ,głębokie pułapki w obszarze1− λ ≤ x ≤ WR− λ są zapełnione przez elektrony i mamy wtedy:W 129