12.07.2015 Views

2005/2006 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

2005/2006 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

2005/2006 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

UPPSALA UNIVERSITET STUDIEHANDBOK <strong>2005</strong>/<strong>2006</strong><strong>Uppsala</strong> tekniska högskolaCivilingenjörsprogrammenKursplanerMikrostrukturteknik, 3 poängMicro structure technology1TM541Kursplanen är fastställd 1994-05-18 av <strong>Teknisk</strong>-<strong>naturvetenskapliga</strong> fakultetsnämnden och senastreviderad <strong>2005</strong>-06-01 av teknisk- <strong>naturvetenskapliga</strong> fakultetsnämndenKursens placering i utbildningsprogramKursen ges inom CivilingenjörsprogrammenStudieperiod: Kursen ges i period K och Q 41. Kursen ges i period F 34.Mål för utbildningenAtt ge kunskaper om mikrostrukturteknikens tillverkningsmetoder och användningsområden.Kursens innehållMaterialkunskap på mikronivå om kisel, kvarts, III-V-halvledare. Grundtekniker såsom litografi,depositionsmetoder, anisotrop och isotrop våtetsning, dopningsselektiv etsning, torretsning,bondning, ytmikrotillverkning och mikroreplikering. Mättekniker. Applikationer inom sensorer,aktuatorer och integrerade mikrosystem.Laborationer:Tillverkning av mikromekanisk komponent.Våtetsning i kisel (2 dagar).Särskild behörighetHalvledarfysik eller Halvledarteknologi eller Fasta tillståndets fysik I eller Materialfysik ellerKvantmekanik fk.UndervisningsformFöreläsningar, och laborationer.ExaminationsformSkriftlig och/eller muntlig tentamen vid kursens slut. För godkännande fordras även godkändlaborationskurs.Betyg:Något av betygen underkänd (U), godkänd (3), icke utan beröm godkänd (4) och med berömgodkänd (5)KurslitteraturKompendierNivå: Kursen ges på C-nivåÄmne: Kursen ges inom huvudämnet TeknikKursansvarig institutionInstitutionen för teknikvetenskaper337

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!