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À partir de cette cap idéale biréfringente et dichroïque (et de la matrice de Jones correspondante), on distingue deux types de caps idéales particulières ayant des anisotropies différentes, à savoir: (1) composante exclusivement dichroïque (anisotropie basée sur le coefficient d'absorption) et (2) composante exclusivement biréfringente (anisotropie basée sur l'indice de réfraction). 2.2.4.1.2 Matrice de Jones d'une composante optique polarisante idéale dichroïque: polariseur (analyseur) linéaire Pour une cap idéale en transmission constituée d'un milieu anisotrope uniaxe exclusivement dichroïque (PP(A) = 0 car OP(A) = 0 (o. = 0 0 ) et T"p(A) = 0 (a.« ao)) (appelée p(A 57 ) linéaire idéal), on écrit à partir de l'éq. (2.55) la matrice de Jones telle que (Jerrard et Burch, 1975) où ëp(A) représente la constante d'absorption et de phase du P(A) linéaire idéal. 90 (2.58) Une COP idéale constituée d'un tel milieu, avec l'axe optique dichroïque parallèle aux surfaces d'entrée et de sortie, agit effectivement en tant que P(A) linéaire idéal puisque les composantes mutuellement orthogonales de Ëi associé à l'OEM incidente, projetées parallèlement et perpendiculairement à cet axe, sont plus ou moins absorbées (polarisées) suivant des coefficients d'absorption différents. Dans la situation particulière où !lm < 0, on qualifie l'axe optique (axe extraordinaire) et l'axe perpendiculaire (axe ordinaire) à ce dernier, respectivement, d'axes d'extinction (axe Oe) et de transmission (axe Ot). L'origine de cette terminologie vient du fait qu'une OEM polarisée linéaire sera plus ou moins transmise dépendamment de l'angle fait entre les directions d'oscillation et de l'axe optique. 57 Fondamentalement, il n'y a pas de différence entre un A et un P linéaires; l'utilisation de deux termes différents pour la même COP vient de la position différente de celle-ci sur le parcours optique d'un ellipsomètre, l'analyseur étant habituellement placé à la sortie du parcours optique.
Plus généralement, à partir de l'éq. (2.57) (ou par la substitution de l'éq. (2.58) dans l'éq. (2.52)), on écrit la matrice de Jones d'un P(A) linéaire idéal avec les axes Ot et Oe tournés de Bp(A) telle que (Jerrard et Burch, 1975)58 91 (2.59) • 2.2.4.1.3 Matrice de Jones d'une composante optique polarisante idéale biréfringente: retardateur linéaire Pour une COP idéale constituée d'un milieu anisotrope uniaxe exclusivement biréfringent (ftR = e,io R car OR =1= 0 (Oe =1= 0 0 ) et rR = 1 (re = ro = 0)) (appelée R linéaire), on écrit à partir de l'éq. (2.56) la matrice de Jones telle que (Jerrard et Burch, 1975) ë R représente la constante d'absorption et de phase du R linéaire idéal. (2.60) Une cap idéale constituée d'un tel milieu, avec l'axe optique biréfringent parallèle aux surfaces d'entrée et de sortie, agit effectivement en tant que R linéaire idéal puisque les composantes mutuellement orthogonales de Ei associé à l'OEM incidente, projetées parallèlement et perpendiculairement à cet axe, sont plus ou moins retardées suivant des phases différentes. Dans la situation particulière où I1n < 0, on qualifie l'axe optique (axe extraordinaire) et l'axe perpendiculaire (axe ordinaire) à ce dernier, respectivement, d'axes lent (axe On et rapide (axe Or). L'origine de cette terminologie vient du fait qu'une OEM polarisée linéaire se 58 Comme on l'a vu précédemment (voir Section 2.2.3.2.1), l'effet de l'éq. (2.59) sera de replacer les axes du polariseur (axes Oe et Of) en coïncidence avec les axes, parallèle et perpendiculaire, du plan d'incidence (axes Op et Os).
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UNIVERSITÉ DU QUÉBEC MÉMOIRE DE
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"We judge ourselves by what we feel
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exprimer toute ma gratitude envers
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M ind temps d'induction ô V potent
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