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2.4 Tourner manuellement L autour de son axe; rechercher, à l'aide du logiciel LV-Ellipsométrie
Réglage de R,:
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(graphique 1 vs t), les minima d'intensité 98 ; régler grossièrement la position angulaire
azimutale de L sur l'un de ces minima (Bl '" 0°);
2.5 Replacer (la partie fixe de) R, à la sortie du tube d'émission du laser;
2.6 Tourner manuellement la partie mobile de R, autour de son axe; rechercher grossièrement,
Réglage de P:
à l'aide du logiciel LV-Ellipsométrie (graphique 1 vs t), les minima d'intensité 99 ; régler la
position angulaire azimutale de R, à +45° de l'un de ces minima (BR' '" 45°);
2.7 Replacer P sur le bras GEP; réajuster (si nécessaire), avec le détecteur en mode
"POSITION" et à l'aide du logiciel LV-Ellipsométrie (graphique 1 vs t), la position du faisceau
lumineux réfléchi sur l'axe optique du bras DEP;
2.8 Tourner, à l'aide de la platine de rotation motorisée, le prisme de P sur son axe; rechercher
précisément, à l'aide du logiciel LV-Ellipsométrie (graphique 1 vs Bp ·; série de
minimisations), le minimum d'intensité 100; noter la position angulaire azimutale de ce
minimum puis insérer dans le logiciel la correction (oBp = Op· - Bp) à apporter pour avoir Bp =
0.000°;
Réglage de A:
2.9 Replacer A sur le bras DEP; réajuster (si nécessaire), avec le détecteur en mode
"POSITION" et à l'aide du logiciel LV-Ellipsométrie (graphique 1 vs t), la position du faisceau
lumineux réfléchi sur l'axe optique du bras DEP;
98 Étant donné que L est quasiment polarisé linéairement, on obtiendra deux minima d'intensité par
demi-tour.
99 Avec la rotation de R" on obtiendra quatre minima par tour; chaque minimum correspondant à
l'alignement d'un des axes neutres (01 ou Or) de R, avec le plan d'incidence.
100 Avec la rotation de P, on obtiendra un minimum par demi-tour; chaque minimum correspondant
à l'alignement de l'axe Ot de P, avec le plan d'incidence. En fait, comme on l'a vu précédemment
(voir Figure 2.8, Section 2.3.1.3), on sait que lorsque e, '" BB' li." '" 0 mais li.' * 0 (par exemple,
avec les éqs. (2.68a,b), pour e, = BB ± 0.1°, on a que r;/' - 10-4 et r;.' - 10"). Or, pour avoir un
signal d'intensité minimale c'est-à-dire avec en plus r;.' '" 0, il faut nécessairement que Bp '" 0°.