Télécharger (10Mb) - Dépôt UQTR - Université du Québec à Trois ...

1.6 MeUre en marche le système motorisé de positionnement vertical;
1.7 Régler (vers le bas ou vers le haut), à l'aide du système motorisé de positionnement
143
vertical, d'abord la position longitudinale du bras GEP puis celle du bras DEP (afin d'avoir
un faisceau lumineux réfléchi le plus possible colinéaire avec l'axe optique ("" 4.6 cm au-
dessus de la surface des cavaliers));
3.3.3.1.2 Alignement des composantes optiques dans le plan d'incidence
Avant de procéder aux mesures ellipsométriques en absence et en présence
d'un film protéique adsorbé, il faut d'abord aligner grossièrement le laser et R 1
dans le plan d'incidence puis, déterminer la correction angulaire à apporter aux
angles azimutaux des prismes de P et de A, ainsi que de R2 afin d'aligner
précisément les axes (respectivement, axes Oe et Ot, et 01 et Or) de ces
composantes aussi dans le plan d'incidence. Pour cela, on utilise le protocole
expérimental suivant:
Réglage du laser (L):
2.1 Régler grossièrement, à l'aide des platines de rotation manuelles (vis de serrage), la
position angulaire des bras GEP et DEP à 8; = es = 53.1 ± 0.1 ° (lecture: 36.9°); régler
précisément, à l'aide de ces mêmes platines (vis micrométrique), la valeur de 8;;
2.2 Régler (vers le bas si 8; < es ou vers le haut si es < 8;) à l'aide du système motorisé de
positionnement vertical, d'abord la position longitudinale du bras GEP puis celle du bras
DEP; ajuster, avec le détecteur en mode "POSITION" et à l'aide du logiciel LV-Ellipsométrie
(graphique 1 vs t), la position du faisceau lumineux réfléchi sur l'axe optique du bras DEP
(une position optimale donnera alors un signal détecté d'intensité maximale (0.6-0.7 V));
2.3 Retirer les COPs suivantes: Rh Pet R2 sur le bras GEP, ainsi que A, et A (seulement le
prisme) sur le bras DEP;
97 Cet ajustement est rendu possible grâce à un élargissement usiné des points de fixation de
chacune des plaques situées sous les profilés verticaux.