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CHAPITRE V CONCLUSION ET PERSPECTIVES<br />

Le travail entrepris dans ce projet de recherche a permis de démontrer, dans<br />

un premier temps, la faisabilité d'élaborer un ellipsomètre hybride, <strong>à</strong> annulation et<br />

<strong>à</strong> mo<strong>du</strong>lation par analyseur rotatif, <strong>à</strong> partir d'un ellipsomètre <strong>à</strong> annulation<br />

conventionnel. De plus, en raison de son architecture simplifiée et mo<strong>du</strong>laire, on a<br />

pu réaliser un montage combiné ellipsomètre hybride/tensiomètre, intégré <strong>à</strong> un<br />

système actif anti-vibration, lequel permet des mesures ellipsométriques et<br />

tensiométriques simultanées <strong>à</strong> l'interface gaz/liquide. Partant de ce montage aisé <strong>à</strong><br />

automatiser, on a pu développer un logiciel de gestion relativement facile<br />

d'utilisation, lequel permet, d'une part, le contrôle de certains éléments motorisés<br />

<strong>du</strong> montage, mais d'autre part, l'acquisition, le conditionnement et le traitement des<br />

différents signaux mesurables. Dans un deuxième temps, ce travail a aussi permis<br />

de tirer profit de l'efficacité <strong>du</strong> formalisme matriciel de Jones et de l'analyse de<br />

Fourier dans les traitements mathématique et numérique <strong>du</strong> signal détecté par<br />

l'ellipsomètre hybride. De fait, <strong>à</strong> l'aide <strong>du</strong> traitement matriciel, on a pu donner une<br />

formulation simple de l'intensité <strong>du</strong> signal détecté et ce, pour n'importe laquelle<br />

configuration des COPs de l'ellipsomètre hybride. Dans un troisième temps, ce<br />

travail a permis d'entrevoir, bien que de manière très préliminaire, l'applicabilité <strong>du</strong><br />

montage combiné <strong>à</strong> l'étude de la cinétique d'adsorption de protéines solubles<br />

comme l'ovalbumine <strong>à</strong> l'interface air/solution.<br />

Évidemment, le peu de résultats obtenus jusqu'<strong>à</strong> présent illustre bien le fait que le<br />

montage combiné et son logiciel de gestion, tout en étant fonctionnels (<strong>du</strong> moins<br />

dans le mode rotatif), sont encore <strong>à</strong> un stade de développement. En ce sens, il<br />

existe encore certains aspects théoriques et pratiques qui peuvent être améliorés<br />

ou consolidés. Ainsi, d'un point de vue théorique, il faudrait, <strong>à</strong> court terme,<br />

développer une meilleure approximation (<strong>à</strong> l'ordre 2) de P, laquelle permettrait de<br />

suivre aussi l'évolution temporelle de 8I'; <strong>à</strong> moyen terme, on pourrait aussi<br />

développer une analyse des erreurs systématiques <strong>du</strong>es aux défauts d'ajustement<br />

angulaire <strong>du</strong> système opto-mécanique (angles azimutaux des COPs et angle

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