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d'incidence du bras DEP), ainsi qu'à la non-linéarité du système électronique de
l'ellipsomètre hybride. Ce genre d'analyse a déjà été réalisé pour d'autres EMARs
avec des configurations plus simples (de Nijs et al., 1988; Russev, 1988; Russev,
1989) mais, à la connaissance de l'auteur, cela n'a pas encore été fait pour la
configuration PREAA. D'un point de vue pratique, il faudrait pour la partie
mécanique, à court terme, un meilleur système pour l'alignement et l'ajustement de
précision de la trajectoire du faisceau lumineux. Par exemple, cela pourrait se faire
par l'utilisation de petites ouvertures circulaires 129 et par l'inclusion de platines de
translation linéaires sur les composantes optiques les plus critiques (comme le
détecteur); à moyen terme, on pourrait penser ajouter une platine de rotation
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motorisée à R2 ; à long terme, on pourrait aménager un système d'injection 131
d'eau ou de solution aqueuse dans la cuve, lequel permettrait, lors des mesures
sur de longues périodes, de compenser pour les pertes en solution dues à
l'évaporation. Pour la partie électronique, on pourrait, à court terme, procéder à
l'installation d'une télécommande permettant au manipulateur de contrôler à
distance la position verticale des bras GEP et DEP, car la procédure d'alignement
exige du manipulateur d'être plus près du montage, lequel est un peu en retrait de
l'ordinateur; à long terme, il faudrait terminer l'automatisation de l'ellipsomètre
hybride par un remplacement des platines de rotation manuelles des bras GEP et
DEP par des versions motorisées plus robustes avec encodeur angulaire intégré.
En outre, cela permettrait de bloquer et/ou de corriger plus efficacement la position
129 Cette étape a été complétée pendant la correction du travail. Des positionneurs x-yen
aluminium anodisé (modèle 07 HPH 001, Melles Griot Canada, Nepean [ON], Canada; 1.8 cm
x 5.6 cm x 5.6 cm; distance de parcours selon les deux axes: 0.3 cm), au centre desquels sont
insérées de minuscules ouvertures circulaires dans des montures en aluminium anodisé
(modèles 04 PPM 017, 019 et 021, Melles Griot Canada; d,nt = 0.4 cm, ditr = 1.0 cm, d." = 1.6
cm, h = 0.2 cm; d = 200, 400 et 600 Ilm), sont fixés à des cavaliers (modèle M-CXL48-50;
Newport Instruments Canada) par l'intermédiaire de petites pièces d'arrimage en aluminium
(Atelier de Mécanique, Département de Chimie; 2.0-2.5 cm x 2.1 cm x 4.1 cm), ajustables
latéralement (selon y) et longitudinalement (selon x).
130 Cet ajout aurait l'avantage de permettre d'ajuster précisément et en temps réel (visuellement
avec le logiciel LV) l'état de polarisation à la sortie du bras DEP.
131 Dans l'essentiel, ce système est constitué d'une diode laser, d'une photodiode à deux quadrants
et d'un pousse-seringue branchés en circuit fermé. Un faisceau lumineux émis par la diode laser
et réfléchi à l'interface serait détecté par la photodiode et servirait d'indicateur du niveau de la
solution. Lorsque celui-ci baisse, le pousse-seringue est mis en marche et un volume précis de
solution tampon est injecté dans la cuve. Un tel système est utilisé par Pezennec et al. (2000) et
il permet de compenser efficacement l'évaporation pour des périodes allant jusqu'à 12 h.