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isotrope et, enfin transmis <strong>à</strong> travers les COPs idéales et linéaires (et tournées <strong>à</strong><br />
des angles azimutaux arbitraires) d'un ellipsomètre hybride en configuration<br />
PREAA comme le vecteur de Jones issu <strong>du</strong> pro<strong>du</strong>it matriciel des matrices de<br />
Jones des différentes COPs (dans l'ordre inverse <strong>du</strong> trajet optique parcouru par le<br />
faisceau lumineux) tel que<br />
avec<br />
et 113,114<br />
- 1 [1]<br />
E i =(2)1/ 2 ±i<br />
2<br />
J (8 )=C [COS 8p sin8pcos8p ]<br />
PPP.<br />
sin<br />
8 8 .28<br />
P COS P sin P<br />
152<br />
(3.06)<br />
(3.07)<br />
(3.08a)<br />
(3.08b)<br />
J iso = [R P 0]<br />
E 0 R S (3.08c)<br />
J (8 ) = C [ cos 2 8 A sin 8 A COS 8 A]<br />
A A A. 8 8 . 28<br />
Sin A COS A Sin A<br />
(3.08e)<br />
où CA, CA" Cp, CR, JA, JA" Jlo, Jp, et J/R représentent, respectivement, les<br />
constantes d'absorption et de phase (sauf pour E), et les matrices de Jones de A<br />
(tourné de BA)' de Ar (tourné de BA')' de E isotrope, de P (tourné de Bp ) et de R2 de<br />
un état de polarisation circulaire droit (c'est-<strong>à</strong>-dire qu'en regardant dans le faisceau lumineux, le<br />
vecteur champ électrique décrira une trajectoire circulaire dans le sens anti-horaire).<br />
113 On considérera, dans l'éq. (3.08b), R comme étant idéal ('R = 1). En fait, il a été montré<br />
expérimentalement avec le précédent montage de l'ellipsomètre <strong>à</strong> annulation que la lame quart<br />
d'onde montée <strong>à</strong> la position de R2 était quasi-idéale ('R '" 1) (Ducharme, 1986).<br />
114 On rappellera, dans l'éq. (3.08c), que R' = fi: ou Ru: (x = p, s) pour un milieu stratifié constitué<br />
de deux ou trois milieux simples et non absorbants.