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l'unicité de ce dernier. Enfin, l'arrangement modulaire des différentes pièces opto-
mécaniques fait en sorte que le montage reste dans son ensemble aisément
ajustable et démontable. Cette flexibilité instrumentale permet, d'une part,
l'alternance entre les modes nul et rotatif de l'ellipsomètre hybride par l'ajout ou le
retrait de A" et d'autre part, l'intégration du montage combiné de l'ellipsomètre
hybride et du tensiomètre à la plate-forme de la station de travail anti-vibration,
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laquelle s'avère indispensable pour les mesures ellipsométriques et
tensiométriques à la surface de substrats liquides. Malgré cela, l'ajout ou le retrait
de A, (ayant un poids non négligeable) sur le bras DEP fait en sorte qu'on
occasionne possiblement des déviations supplémentaires à la fois au niveau des
profilés vertical et incliné, ce dernier n'étant maintenu en position que par la seule
vis de serrage de la platine de rotation manuelle. En outre, à cause du support
unique des bras de l'ellipsomètre hybride, il a fallu recourir à des moteurs verticaux
avec un couple beaucoup plus élevé. Or, la fixation des profilés verticaux et, par
conséquent, des moteurs, directement sur la plate-forme fait en sorte qu'une partie
des vibrations provenant de la rotation de la vis sans fin sont probablement
transmises à la surface du substrat liquide.
4.1.2 Logiciel de gestion de l'ellipsomètre hybride et du tensiomètre
Le logiciel de gestion du montage combiné de l'ellipsomètre hybride et du
tensiomètre permet, contrairement au logiciel de gestion du précédent montage de
l'ellipsomètre à annulation, un contrôle plus facile des systèmes motorisés
(platines de rotation des prismes de A et P, système de positionnement vertical
des bras DEP et GEP) mais surtout une vitesse accrue au niveau de l'acquisition
et du traitement des données, indispensable pour les mesures ellipsométriques et
tensiométriques effectuées en temps réel. En vertu de son interface graphique
arrangée de façon modulaire, le logiciel permet une visualisation facile et rapide de
toutes les données expérimentales issues de l'ellipsomètre hybride et du
tensiomètre (par exemple, f, ap , ITp , '!'O, f1o, "l', f1±, 5f1±, etc.) (Figure 4.2). À l'inverse,