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10.0 cm x 10.0 cm x 30.0 cm; domaine d'isolation active: 0.5-200 Hz, capacité de<br />

charge indivi<strong>du</strong>elle: 110 kg) (Anderson et Houghton, 2001). Ce mo<strong>du</strong>le peut<br />

fonctionner selon deux modes, <strong>à</strong> savoir, sur une base autonome ou sous le<br />

contrôle d'un micro-ordinateur (par un port série)88.<br />

B<br />

A<br />

128<br />

Figure 3.3: Photographies de deux mo<strong>du</strong>les utilisés dans la partie électronique<br />

<strong>du</strong> montage de l'ellipsomètre hybride. (A) Mo<strong>du</strong>le de contrôle<br />

ESP300 des platines de rotation motorisées (tirée <strong>du</strong> site Web:<br />

www.newport.com); (8) Mo<strong>du</strong>le de contrôle actif et isolateurs Elite 3<br />

de la plate-forme optique (tirée de Anderson et Houghton (2001 )).<br />

88 L'utilisation <strong>du</strong> mo<strong>du</strong>le suivant le second mode requiert l'installation <strong>du</strong> logiciel de pilotage Elite 3<br />

(version 4.01, Newport Instruments Canada). Toutefois, dans le présent montage, le mo<strong>du</strong>le<br />

fonctionne selon le premier mode.

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