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2.10 Tourner, <strong>à</strong> l'aide de la platine de rotation motorisée, P <strong>à</strong> ep = 10.000°;<br />
2.11 Tourner, <strong>à</strong> l'aide de la platine de rotation motorisée, le prisme de A sur son axe; rechercher<br />
145<br />
précisément, <strong>à</strong> l'aide <strong>du</strong> logiciel LV-Ellipsométrie (graphique 1 vs e A '; série de<br />
minimisations), le minimum d'intensité 101 ; noter la position azimutale de ce minimum puis<br />
insérer dans le logiciel la correction (oe A = e A ' - e A ) <strong>à</strong> apporter pour avoir e A = 0.000°;<br />
2.12 Replacer R2 sur le bras GEP;<br />
2.13 Tourner A, <strong>à</strong> l'aide de la platine de rotation motorisée, jusqu'<strong>à</strong> e A = 90.000°;<br />
2.14 Tourner, <strong>à</strong> l'aide de la platine de rotation manuelle (vis de serrage), R 2 sur son axe;<br />
rechercher, <strong>à</strong> l'aide <strong>du</strong> logiciel LV-Ellipsométrie (graphique 1 vs t), les minima d'intensité 102;<br />
ajuster, <strong>à</strong> l'aide de cette même platine de rotation (vis micrométrique), la position de l'un de<br />
ces minima; noter la position azimutale <strong>du</strong> minimum choisi puis placer R 2 <strong>à</strong> cette position<br />
2.15 Replacer A, sur le bras DEP;<br />
3.3.3.2 Calibration <strong>du</strong> tensiomètre<br />
De la même manière qu'avec l'ellipsomètre hybride, avant de passer aux<br />
mesures tensiométriques, il s'avère nécessaire de procéder <strong>à</strong> une calibration <strong>du</strong><br />
détecteur <strong>du</strong> tensiomètre. Pour cela, on peut utiliser l'un ou l'autre des deux modes<br />
<strong>du</strong> protocole expérimental suivant:<br />
Mode A: Calibration de pression<br />
v [mV] oc y' = ay + Yc [mN/ml (3.01 )<br />
101 Puisque pour ep "" 0°, on a r;: "" 0, alors pour conserver un signal d'intensité minimale, il faut<br />
nécessairement que eA "" 0°.<br />
102 Avec la rotation de R2' on obtiendra quatre minima par tour; chaque minimum correspondant <strong>à</strong><br />
l'alignement d'un des axes neutres (01 ou Or) de R2 avec le plan de P et, par conséquent, avec le<br />
plan d'incidence.