Télécharger (10Mb) - Dépôt UQTR - Université du Québec à Trois ...
Télécharger (10Mb) - Dépôt UQTR - Université du Québec à Trois ...
Télécharger (10Mb) - Dépôt UQTR - Université du Québec à Trois ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Instruments Canada; 8.3 cm x 30.5 cm x 41.9 cm; 3 axes moteurs potentiels dont<br />
deux actifs, processeur DSP 60 MHz, mémoire non volatile 64 kB, 16 canaux<br />
d'entrée/sortie numériques et bidirectionnels, interface RS-232-C) (Figure 3.3),<br />
lequel établit une liaison entre le micro-ordinateur (par l'intermédiaire d'un câble<br />
127<br />
GPIB-USB-B (National Instruments; capacité de contrôle maximale: 14 instruments<br />
GPIB; /0 = 200 cm) et les platines de rotation motorisées (par deux ports série)<br />
décrites précédemment (voir Section 3.1.1.1). Ce mo<strong>du</strong>le est doté d'une librairie de<br />
pilotes LabVIEW incluant toutes les commandes de motorisation des platines de<br />
rotation et de communication DLL <strong>du</strong> logiciel d'exploitation Windows.<br />
3.1.2.6 Détecteur de l'ellipsomètre hybride<br />
La détection <strong>du</strong> signal lumineux <strong>à</strong> la sortie <strong>du</strong> parcours optique de<br />
l'ellipsomètre hybride se fait par l'intermédiaire d'un détecteur (modèle HUV-<br />
4000B, EG&G Electro-Optics, Salem [MA], États-Unis; d = 1.1 cm; aire effective: 1<br />
cm 2 ; domaine spectral: 185-1150 nm), lequel est essentiellement constitué d'une<br />
photodiode circulaire <strong>à</strong> quatre quadrants en silicium, doublée d'un amplificateur,<br />
tous deux montés dans un boîtier en plastique (0.6 cm x 2.4 cm x 2.9 cm). Le<br />
détecteur est relié au mo<strong>du</strong>le d'intégration des signaux (voir Section 3.1.2.2) par<br />
une connexion BNC et <strong>à</strong> un mo<strong>du</strong>le d'alimentation (source de tension double) en<br />
courant continu (modèle 950, Analog Devices, Norwood [MA], États-Unis; / = 50<br />
mA, V= ±15 V) par une connexion triple (-15 V, +15 Vet mise <strong>à</strong> terre).<br />
3.1.2.7 Mo<strong>du</strong>le de contrôle actif des isolateurs de la plate-forme optique<br />
Le contrôle actif des isolateurs de la plate-forme optique se fait par<br />
l'intermédiaire d'un mo<strong>du</strong>le électronique (Newport Instruments Canada; 16.5 cm x<br />
28.0 cm x 42.7 cm) (Figure 3.3), qui est relié <strong>à</strong> trois isolateurs piézoélectriques 87<br />
avec un couplage élastomère (modèle AIM3-A3-DO, Newport Instruments Canada;<br />
87 En fait, les isolateurs sont dotés, pour l'amortissement horizontal et vertical, respectivement, d'un<br />
système de pen<strong>du</strong>le amorti <strong>à</strong> l'huile et d'un système d'actuation piézoélectrique.