Qualification de IONIC, instrument de recombinaison ...

tel-00010396, version 1 - 4 Oct 2005
3.2. TECHNOLOGIES D’OPTIQUE INTÉGRÉE PLANAIRE 41
dans les chapitres suivants. La première utilisée menait à une gravure partielle de la
couche supérieure sur environ 3 µm laissant ainsi une couche identique au coeur de 2
µm d’épaisseur sur toute la surface de la plaque. La dernière version des composants
réalisés utilisait elle une gravure complète de la zone de cœur.
– Une fois la gravure achevée, la résine est retirée (6) et une nouvelle couche de silice
faiblement dopée (3%) déposée sur la plaque (7), donnant la partie supérieure de la
gaine.
– Une nouvelle phase de recuit permet d’homogénéiser la dernière couche déposée.
– Les phases de dépôt et de gravure déterminent l’épaisseur des guides. Leur largeur est
donnée par le masque reproduit sur la plaque.
3.2.3 Autres technologies
Je ne présenterai ici que deux autres technologies possibles sans détailler les processus de
mise en œuvre. La première a déjà été utilisée pour une application optique intégrée décrite
plus loin, et la deuxième est intéressante par sa simplicité de mise en œuvre. Il est bien évident
que de nombreuses autres solutions technologiques sont possibles, mais celles développées ici
sont accessibles facilement grâce aux moyens de nos partenaires grenoblois.
Les polymères représentent également une voie pour la réalisation de guides d’onde mono-
modes. Les guides sont formés en éclairant directement le polymère avec de la lumière
UV. Une autre utilisation possible de ce type de technologie est son hybridation pos-
sible avec d’autres technologies. Un exemple de réalisation est donné dans Morand
et al. (1998) dans le cas d’un polariseur combinant la technologie des polymères avec
celle d’échange sur verre. Nous reviendrons plus en détail sur ce composant dans le
paragraphe 3.3.1.
L’échange d’ions dans des films minces est également possible. Le dépôt de couches
minces est un procédé bien connu et maîtrisé mais la réalisation de guides dans ces
couches nécessite souvent des étapes de gravures qui doivent être alors très précises pour
éviter les phénomènes de diffusion et de pertes photoniques engendrées par toute imper-
fection. L’utilisation de la technologie de diffusion d’ions est une alternative intéressante
pour intégrer des guides d’onde dans ces couches. Sa faisabilité a été démontrée par Fick
et al. (2000). Cette technique peut être appliquée aux films minces contenant des ions
alcalins.