View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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Ergebnisse und Diskussion<br />
dünner Schichten kann durch Presslinge gleicher Gründichten bestimmt werden [MÜCK08].<br />
Die Sinterkurve der Presslinge mit 60% der theoretischen Dichte ist ebenfalls in Abb. 3.19<br />
eingetragen. Der Unterschied der linearen Sinterschwindung zwischen dem Pressling und<br />
dem Träger bei gleicher Temperatur ist dabei ein Maß für die potenziellen Verbundspannungen<br />
die zur Aufwölbung führen können. Bei 1120°C und 3h Haltezeit zeigt die Kombination<br />
aus Schicht und Träger R30 einen Unterschied von ca. 5% Punkten linearer Schwindung.<br />
Die Kombination aus Schicht und Träger M30 zeigt lediglich einen Unterschied von ca. 2%<br />
Punkten und die Kombination aus Schicht und M20 Träger zeigt weniger als 0,5% Punkte<br />
Unterschied in der linearen Sinterschwindung.<br />
Die aus den unterschiedlichen Sinteraktivitäten resultierenden Verbundkrümmungen wurden<br />
mittels Lasertopographie ermittelt. In Abb. 3.22 sind beispielhaft die Verbundkrümmung der<br />
Kombinationen von Membranschicht und Träger R30 und Membranschicht und Träger M20<br />
nach der Sinterung gezeigt. Hierbei zeigen die geträgerten Membranen mit R30 Träger mit<br />
2,0 mm eine deutlich höhere Krümmung, als Membranen mit M20 Träger, die eine Krümmung<br />
von 0,3 mm aufweisen.<br />
Abb. 3.20 Krümmung der gesinterten Membranschicht-Träger Verbunde (1100°C, 3h).<br />
Links: Träger R30+50µm Membranschicht , rechts: Träger M20+50µm Membranschicht.<br />
Verbundspannungen haben neben der negativen Eigenschaft eine Krümmung des Verbundes<br />
zu bewirken auch positive Eigenschaften. Durch die Druckspannungen in der Membranschicht<br />
wird diese zusätzlich verdichtet. Dies ist am Mikrogefüge sichtbar und über die<br />
He-Leckrate messbar.<br />
Membranschichten die mit dem R30 Träger gesintert wurden werden durch die Restschwindung<br />
des Trägers zusätzlich verdichtet. Hieraus ergeben sich He-Leckraten von<br />