View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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Ergebnisse und Diskussion<br />
Abb. 3.23 REM Aufnahme einer Bruchfläche eines Lufteinschlusses zwischen Membranschicht<br />
und Träger nach der Sinterung (1100°C, 3h).<br />
Foliengegossene Membranschichten zeigen bei geringerer Schichtdicke eine niedrigere He-<br />
Leckrate als siebgedruckte Schichten. Die He-Leckagewerte der, in Abb. 3.22 gezeigten,<br />
foliengegossenen Membranen sind in Tab. 3.3 aufgeführt. Zum Vergleich: siebgedruckte<br />
Schichten auf R30 Träger erreichten He-Leckraten