elektrische Temperaturmessung
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4 Widerstandsthermometer<br />
4.5.3 Folienfühler<br />
Anschlussdrähte<br />
Messwicklung<br />
Polyimidfolie<br />
Abbildung 34: Prinzipieller Aufbau eines drahtgewickelten Folien-Pt 100<br />
Zwischen zwei Polyimidfolien wird ein Platinwiderstandsdraht mit einem Durchmesser von rund<br />
30µm in eine Klebemasse eingebettet. Durch die flache Ausführung von rund 0,17mm Dicke und<br />
die hohe Flexibilität dient der Sensor zur Oberflächenmessung an Rohrleitungen oder wird auch in<br />
Transformatorenwicklungen eingesetzt. Der Temperaturbereich beläuft sich auf -80 ... +230°C.<br />
4.5.4 Dünnschichtsensoren<br />
Anschlussdrähte<br />
Zugentlastung<br />
Messwicklung<br />
Keramiksubstrat<br />
Abbildung 35: Prinzipieller Aufbau eines Dünnschicht-Pt 100<br />
Aus der Halbleiterindustrie abgeleitete Verfahren werden zur Produktion dieser Bauform verwandt.<br />
Auf einem Aluminiumoxid-Substrat wird eine ca. 0,5 ... 1µm dicke Platinschicht gesputtert oder<br />
aufgedampft. Anschließend wird in einem Lithografieprozess oder mittels Laserstrahl die Platinschicht<br />
mäanderförmig strukturiert und durch Laser abgeglichen. Eine danach aufgebrachte Glasschicht<br />
von ca. 10 ... 15µm schützt das Platin.<br />
Über aufgeschweißte Anschlussdrähte, die zusätzlich mit einem Glastropfen fixiert werden, wird<br />
die <strong>elektrische</strong> Verbindung zur Widerstandsbahn hergestellt. Die Einsatztemperaturen liegen, abhängig<br />
von der Bauform, zwischen -50 ... +400(600)°C.<br />
JUMO, FAS 146, Ausgabe 2007-01<br />
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