Doktorarbeit_Mairoser.pdf - OPUS - Universität Augsburg

10. Wachstum epitaktischer EuO-Filme durch topotaktische Transformation
Abbildung 10.1.: Fotografie der Sputteranlage, mit der die in diesem Kapitel vorgestellten
Filme hergestellt wurden. Im System sind drei 3”-Sputterquellen verbaut,
deren Abstand zum Probenhalter über Lineartische eingestellt werden
kann. Das Sputtersystem wurde um ein Load-Lock und eine Ionengettermit
eingebauter Titan-Sublimationspumpe erweitert.
erniedrigt. Der nötige neue Probenheizer besitzt die nahezu selbe Abhängigkeit der
erreichbaren Substrattemperatur vom angelegten Heizerstrom I H , sodass sich hierbei
keine Änderungen der Wachstumsparameter ergaben. Weiterhin hatte der Umbau
keinen merklichen Einfluss auf die Eigenschaften der EuO-Filme.
Vor dem Wachstum der Filme wurden die verwendeten Substrate 1 für 10 Minuten
in Aceton gesäubert, mit isopropanolgetränktem Linsenpapier gereinigt und anschließend
erneut für 10 Minuten in Aceton gesäubert. Um Trocknungsflecken durch Aceton
zu verhindern, wurde das Substrat schließlich für 10 Minuten in Isopropanol endgereinigt
und anschließend mit Stickstoff trocken geblasen. 2 Im Anschluss daran wurde
das Substrat mit langsam trocknendem Silberleitkleber (Plano G3303A [125]) auf den
Probenheizer aufgeklebt und für etwa 30 Minuten bei ≈ 100 ◦ C auf eine Heizplatte
gelegt. Nach dem Einbau des Probenheizers in die Vakuumkammer wurde die gewünschte
Substrattemperatur durch das Anlegen eines bestimmten Heizerstroms I H
eingestellt. Um die thermischen Gradienten nicht zu groß zu wählen, wurde I H durch
eine Sequenz schrittweise erhöht. Die Temperatur des Substrats wurde mithilfe eines
Pyrometers gemessen. 3
1 Es wurden meist Substrate der Größe 5 mm × 5 mm verwendet, die aus Stücken der Größe 10 mm ×
10 mm herausgesägt wurden. Die Substratoberfläche wurde vor dem Sägevorgang mit Photolack
bedeckt. Der Kleber zum Aufkleben der Substrate auf einen Halter für die Drahtsäge und der
Photolack wurden nach dem Sägen mit Aceton und Isopropanol wieder entfernt.
2 Das Becherglas mit Lösungsmittel und Substrat befand sich für die angegebenen Zeiten im Ultraschallbad.
3 Die minimal messbare Temperatur des verwendeten Pyrometers beträgt 300 ◦ C.
134