Doktorarbeit_Mairoser.pdf - OPUS - Universität Augsburg

10.2. Untersuchung des Wachstumsmechanismus
(a)
(b)
Abbildung 10.9.: HAADF-Signal in verschiedenen Auflösungen von STEM-Messungen
an dem in diesem Abschnitt beschriebenen EuO-Film gewachsen auf
YAlO 3 (110) (THM_EuO_131). Wie auch in Abbildung 10.8 sind die Eubzw.
die Y-Atome im Film bzw. im Substrat hell dargestellt. Die Grenzfläche
zwischen dem EuO-Film und dem YAlO 3 -Substrat ist kommensurat
und die Gitterkonstante des Films stimmt mit der von EuO überein.
wurde direkt nach dem Ende der Eu 2 O 3 -Deposition ausgeschaltet. Das Sputtern von
Ti startete 2 min später. 10
Zur genaueren Analyse wurde diese Probe mittels STEM und EELS untersucht. Abbildung
10.11 zeigt die Resultate. Dort ist zu erkennen, dass während des Reduktionsvorgangs
nur ein Teil des Eu 2 O 3 -Films zu EuO reduziert wurde. Wie erwartet, geht
die Reduktion von der Ti-Schicht aus hin zu den inneren Bereichen des Films. In den
STEM-Untersuchungen wurde festgestellt, dass etwa 40 nm des 50 nm dicken Films zu
EuO reduziert sind. Diese Bereiche sind in Abbildung 10.11 (a) als dunklere Bereiche
des Films zu erkennen. (b) zeigt eine ortsaufgelöste Darstellung der Verteilung der
Oxidationsstufen der Eu-Ionen. Hieraus ist zu erkennen, dass die dunkleren Bereiche
10 Nach der Deposition von Ti war die Substrattemperatur auf etwa 415 ◦ C abgefallen.
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