Doktorarbeit_Mairoser.pdf - OPUS - Universität Augsburg

A.2. Weitere Methoden zur Untersuchung dünner Filme
(EELS) bezeichnet. Hier wird ausgenutzt, dass bei der inelastischen Streuung Übergänge
von Elektronen in den Atomhüllen stattfinden. Diese Übergänge sind elementspezifisch
und sensitiv auf die Oxidationszahl der einzelnen Atome bzw. Ionen. Somit
lässt sich eine ortsaufgelöste Karte erstellen, die die einzelnen Elemente der zu untersuchenden
Probe samt zugehöriger Oxidationszustände darstellt. Statt einer energieaufgelösten
Detektion der kaum gestreuten Elektronen kann auch deren Summe
bestimmt werden, was zum Bright Field-Signal (BF) führt. Dieses ist komplementär
zum ADF-Signal. Im Fall einer hohen Atomdichte entlang der optischen Achse werden
mehr Elektronen gestreut, sodass das ADF-Signal zunimmt, während das BF-Signal
gleichzeitig kleiner wird. Im Fall einer niedrigen Atomdichte stellt sich die Situation
umgekehrt dar [250].
Da beim STEM die transmittierten Elektronen betrachtet werden, müssen die Proben
entsprechend dünn sein – im Bereich von 100 nm. Zur Herstellung so dünner Proben
werden verschiedene Verfahren eingesetzt. Für Proben, die durch Luft bzw. den Einsatz
von Lösungsmitteln beschädigt werden können, wird die Probenpräparation mittels
eines Focused Ion Beam (FIB) durchgeführt. Hierbei wird durch Ionenätzen mit
Galliumionen so viel Material abgetragen, bis die gewünschte Schichtdicke erreicht ist
[250].
Die STEM-Messungen an EuO-Filmen wurden von Julia Mundy, Paul Cueva und
Daniel Hodash an der Cornell University durchgeführt.
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