Doktorarbeit_Mairoser.pdf - OPUS - Universität Augsburg

* *
THM_EuO_191
Intensität (a. u.)
10 5 20 30 40 50 60 70 80 90
10 4
10 3
100
10
Eu 2
O 3
(401)
EuO(002)
Ti(002)
Ti(101)
EuO(004)
*
Normierte Intensität (a. u.)
1
0.8
0.6
0.4
0.2
DyScO 3
(111)
EuO(111)
THM_EuO_191
1
(a)
2θ (°)
0
0 50 100 150 200 250 300 350
ϕ (°)
(b)
1
THM_EuO_191
FWHM = 0,047°
1
Normierte Intensität (a. u.)
0.8
0.6
0.4
0.2
0.8
0.6
0.4
0.2
0
17.20 17.60 18.00
ω (°)
(c)
0
Abbildung H.10.: (a) θ-2θ-Scan eines gesputterten EuO-Films auf DyScO 3 (110). Es ist
neben den mit ∗ markierten Substrat-Peaks, den EuO(00l)-Peaks und
den Ti-Peaks ein wenig intensiver Eu 2
O 3
(401)-Peak sichtbar. Dieser ist
auf eine unzureichend dicke Ti-Schicht zurückzuführen. ϕ-Scans in (b)
in Verbindung mit nicht gezeigten Berechnungen in CaRIne beweisen
die Epitaxie des Films. Die unterschiedlichen Intensitäten der Peaks sind
durch eine nicht gleichmäßige Ausleuchtung der Probe verursacht. (c)
zeigt die Rocking Curve des EuO(002)-Peaks, dessen Halbwertsbreite
0,047 ◦ beträgt. Die Wachstumsparameter waren: Eu 2
O 3
: I H = 3,4 A,
linke Sputterquelle mit x = 1,5 cm, Ar-Fluss 1,0 SCCM, p = 0,05 mbar,
P rf = 50 W, t D = 2 min; Ti: rechte Sputterquelle mit x = 3,0 cm, Ar-
Fluss 4,0 SCCM, p = 0,05 mbar, P DC = 40 W, t D = 1 min.
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