Doktorarbeit_Mairoser.pdf - OPUS - Universität Augsburg

2.3. Charakterisierung dünner Filme
z
Luft
θ i
T 0
=1 R 0
θ f
d 1
1
2
R 1
T 1
T 1
R 1
R 2
T 2
d 2
j
j+1
T j
R j
R j+1
T j+1
d j
d j+1
N-1
Substrat
T N-1
R N-1
T N
d N-1
Abbildung 2.13.: Schematische Darstellung einer Heterostruktur bestehend aus N − 1
Schichten der Dicke d j , die auf einem Substrat (Schicht N) aufgewachsen
sind. Alle Grenzflächen besitzen eine endliche Rauigkeit. Die gestrichelten
Linien geben den nominellen Ort der Grenzfläche an. Zur Messung der Reflektivität
trifft ein Röntgen- bzw. Neutronenstrahl unter einem Winkel θ i
auf die Grenzfläche Luft / Schicht 1 auf. Dort wird er teilweise reflektiert
und teilweise transmittiert. An den weiteren Grenzflächen treten analoge
Ereignisse auf. Die reflektierten bzw. transmittierten Teilstrahlen interferieren,
sodass ein typisches Reflexionsmuster entsteht. (In Anlehnung an
[94].)
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