Doktorarbeit_Mairoser.pdf - OPUS - Universität Augsburg
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11. Zusammenfassung<br />
dung gebundener magnetischer Polaronen, die sich an den magnetischen Gd-Dotanten<br />
bilden. Für unmagnetische Dotanten wie La und Lu wird dies nicht erwartet.<br />
Das zweite Ziel meiner Arbeit zu EuO war die Entwicklung eines auf Sputtern basierten<br />
Verfahrens zur Herstellung epitaktischer EuO-Filme. Sputtern ist technologisch<br />
viel weniger aufwändig und deutlich kostengünstiger als die zur Herstellung von EuO-<br />
Filmen meist benutzte Methode der Molekularstrahlepitaxie. Bisher konnten mittels<br />
Sputtern nur polykristalline Filme teilweise mit Fremdphasen realisiert werden. Im<br />
von mir entwickelten Sputterverfahren wird zur Herstellung epitaktischer EuO-Filme<br />
zuerst (401)-orientiertes graphoepitaktisches Eu 2 O 3 auf das Substrat deponiert. Im<br />
Anschluss daran wird dieser Eu 2 O 3 -Film durch das Aufbringen von Titan in einer<br />
topotaktischen Transformation zu EuO reduziert. Dabei entstehen epitaktische (001)-<br />
orientierte EuO-Filme von herausragender kristalliner Qualität. So konnte der bisher<br />
schmälste Wert von 0,004 ◦ der Halbwertsbreite der Rocking Curves der EuO(002)-<br />
Peaks gemessen werden. Dies ist besser als die bisher geringsten publizierten Werte<br />
für das Wachstum von EuO mittels MBE [194].<br />
Anhand thermodynamischer Überlegungen wurde gezeigt, dass bei der Reduktion der<br />
in Eu 2 O 3 vorliegenden Eu 3+ -Ionen nur die in EuO vorhandenen Eu 2+ -Ionen entstehen,<br />
d. h. es bildet sich weder Eu-Metall noch bleiben Eu 3+ -Ionen unreduziert zurück.<br />
Mittels STEM- und EELS-Messungen wurde dies bestätigt. Für den Reduktionsmechanismus,<br />
der bereits bei Raumtemperatur abläuft, spielt die Sauerstoffdiffusion eine<br />
wichtige Rolle. Für genügend hohe Substrattemperaturen (T sub ≈ 580 ◦ C), bei denen<br />
Sauerstoffdiffusion vermehrt stattfinden kann, können so Filme mit einer Dicke von<br />
mindestens 60 nm komplett reduziert werden.<br />
Neben dem epitaktischen Wachstum von EuO-Filmen auf (110)-orientiertem YAlO 3<br />
konnte ich dies auch auf einer Reihe weiterer Substrate mit Gitterfehlanpassungen<br />
von bis zu 9 % demonstrieren. Trotz dieser sehr großen Gitterfehlanpassungen wurden<br />
Halbwertsbreiten von weniger als 0,065 ◦ ermittelt. Für das biaxial verspannte Wachstum<br />
mit so großen Gitterfehlanpassungen sagen Berechnungen voraus, dass EuO-<br />
Filme ferroelektrisch werden. Durch Messungen mittels Second Harmonic Generation<br />
(SHG), die Carsten Becher an der ETH Zürich durchführte, konnte dies aber bisher<br />
nicht nachgewiesen werden. Eine endgültige Bewertung steht aber noch aus.<br />
Um überhaupt SHG-Messungen an Filmen durchführen zu können, die mit dem Sputterverfahren<br />
hergestellt wurden, musste das metallische Ti an der Filmoberfläche zu<br />
nicht-leitfähigem TiO 2 oxidiert werden. Filme mit der minimal möglichen Ti-Schichtdicke<br />
zur vollständigen Reduktion des Eu 2 O 3 -Films wurden dazu direkt nach dem<br />
Ausbau aus dem Depositionsystem in eine H 2 O 2 -Lösung gegeben. Die dort vollzogene<br />
Oxidation beeinflusst die EuO-Filmeigenschaften kaum merklich.<br />
Schließlich konnten unter Verwendung eines (Eu 0,92<br />
Gd 0,08 ) 2<br />
O 3 -Targets EuO-Filme mit<br />
nominell 8 % Gd-Dotierung hergestellt werden. Die maximal erreichbaren Curie-Temperaturen<br />
von 123 K sind mit denen MBE-gewachsener Eu 1−x Gd x O-Filme vergleichbar.<br />
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