Étude des propriétés hydriques et des mécanismes d ... - sacre

Annexes
phénomène correspondant dans l’objet. Par exemple, dans le mode émission d’électrons secondaires,
un point de l’image est d’autant plus brillant que le point correspondant de l’objet émet plus
d’électrons. L’mage est retransmise point par point et ligne par ligne, elle ne devient complète
qu’après une période de balayage complète. Contrairement à une image stigmatique, l’image par
balayage n’est pas liée à la possibilité de focalisation des lentilles, il est ainsi possible d’obtenir des
"images" de rayons X. La tension d’accélération et la taille du faisceau d’électrons sont des paramètres
d’utilisation importants :
La tension d’accélération conditionne la profondeur d’interaction, plus la tension est élevée, plus les
électrons sont énergétiques et pénètrent dans la matière. De plus, plus les électrons sont énergétiques,
plus ils sont "destructeurs". Dans les microscopes à canons classiques, il n’est quasiment pas possible
de travailler en dessous de 10 kV car la brillance des ces canons (nombre d’électrons par angle solide
de détection) n’est pas suffisante pour avoir un rapport signal / bruit correct pour former une image.
Par contre, dans le cas des canons à émission de champs, la brillance permet de travailler jusqu’a des
tensions de l’ordre du kV, ce qui permet l’observation des extrêmes surfaces et diminue l’effet parfois
destructeurs des électrons
La taille du faisceau d’électrons conditionne la résolution du microscope. Représentée sous la forme
d’une poire d’interaction (figure A.2), elle dépend :
- de la tension d’accélération du faisceau d’électrons,
- du type de rayonnement détecté (électron secondaire ou rétrodiffusées, rayons X, …),
- de la composition de l’éprouvette,
- de la distance de travail.
La figure A.2 schématise cette poire et montre que pour une même taille de faisceau d’électrons, la
résolution en électrons secondaires qui peut être de quelques nanomètres peut atteindre quelques
centaines de nanomètre dans le cas des rayons X.
Figure A.2 : représentation schématique des profondeurs de pénétration et des résolutions spatiales
pour différents modes de formation d’images
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Kévin Beck (2006)