Bildgebung mit DEPFET - Prof. Dr. Norbert Wermes - Universität Bonn

102 KAPITEL 5. ORTSAUFLÖSUNG VON HALBLEITERSENSORENOrtsauflösung in x-Richtung Lookuptable hex/quadOrtsauflösung in y-Richtung Lookuptable hex/quadFehler in x hex/quad Pixel1,21,11,00,90,8SNR = 320,0SNR = 50,0SNR = 25,0SNR = 16,7SNR = 12,5Fehler in y hex/quad Pixel1,21,11,00,90,8SNR = 320,0SNR = 50,0SNR = 25,0SNR = 16,7SNR = 12,50 5 10 15 20Breite der Ladungswolke [µm]0 5 10 15 20Breite der Ladungswolke [µm]Fehler gesamt hex/quad Pixel1,061,041,021,000,980,96Totale Ortsauflösung hex/quadSNR = 320,0SNR = 50,0SNR = 25,0SNR = 16,7SNR = 12,50,940 5 10 15 20Breite der Ladungswolke [µm]Abbildung 5.20: Vergleich der Ortsauflösung für hexagonale und quadratische Pixelgeometrie.Oben links: in x-Richtung. Oben rechts: in y-Richtung. Unten: gesamt.stark unterscheidet; für eine in beiden Richtungen gleichmäßig gute Ortsauflösung solltenhexagonale Pixel verwendet werden.5.4 Messungen zur Ortsauflösung des DEPFET PixelBioscopesUm zum einen die Ortsauflösung des DEPFET Pixel Bioscopes zu bestimmen und zumanderen die theoretischen Untersuchungen des vorigen Kapitels mit experimentellen Datenvergleichen zu können, wurden verschiedene Experimente durchgeführt. Im erstenTeil des Kapitels wird auf Messungen zur Ortsauflösung an einem Lasermessstand eingegangen,der zweite Teil des Kapitels befaßt sich mit Messungen mit einer Teststruktur.Am Ende des Kapitels werden die Ergebnisse zusammengefaßt.