Bildgebung mit DEPFET - Prof. Dr. Norbert Wermes - Universität Bonn

Kapitel 3Das DEPFET Pixel BioscopeDas DEPFET Pixel Bioscope System wurde für die digitale Autoradiographie entwickeltund verwendet als Sensor eine 64×64-DEPFET-Matrix. Abgesehen von biomedizinischenFragestellungen lassen sich mit dem System auch die Eigenschaften von DEPFET Pixelnin einer Matrixanordnung untersuchen. Im folgenden Kapitel wird das System im Detailvorgestellt. Das erste Kapitel befaßt sich mit dem Layout von DEPFET-Matrizen, imzweiten Kapitel wird darauf eingegangen, wie sich die Matrizen auslesen lassen. In Kapitel3.3 werden die einzelnen Komponenten des DEPFET Pixel Bioscopes beschrieben. Fürdas System wurde eine integrierte Ausleseelektronik entwickelt, worauf in Kapitel 3.4eingegangen wird. Zum Schluß erfolgt eine Zusammenfassung des Kapitels.3.1 Layout von DEPFET-MatrizenMatrizen von DEPFET-Sensoren lassen sich sowohl mit kontinuierlich als auch mit gepulstgelöschten Pixeln (s. Kapitel 2.2) realisieren. Kontinuierlich gelöschte Pixel müssenpermanent ausgelesen werden, so dass jeder Pixel einer Matrix einen eigenen Auslesekanalbenötigt. Matrizen mit gepulst gelöschten Pixeln können hingegen zeilenweise ausgelesenwerden, was die Anzahl der Auslesekanäle erheblich reduziert. 1998 wurden am MPIHalbleiterlabor beide Typen von DEPFET-Matrizen produziert; die Matrizen wurdenvon Peter Klein und Wolfgang Neeser entwickelt [Kle96, Nee00a]. Auf die kontinuierlichgelöschten Matrizen soll im Folgenden nicht näher eingegangen werden, da sie imDEPFET Pixel Bioscope nicht verwendet werden.Die Transistoren der gepulst gelöschten Matrizen haben eine zirkulare Struktur mit W =53µm und L = 5µm. Im DEPFET Pixel Bioscope werden Matrizen mit unterschiedlicherPixelgeometrie verwendet:• rechteckige Bildzellen mit einer Pixelgröße von 50 × 60µm 2• quadratische Bildzellen mit einer Pixelgröße von 50 × 50µm 240