Bildgebung mit DEPFET - Prof. Dr. Norbert Wermes - Universität Bonn

112 KAPITEL 5. ORTSAUFLÖSUNG VON HALBLEITERSENSOREN108Sigma Gaussfit [µm]6420σ_mean = 7,1 +/- 0,8-25 -20 -15 -10 -5 0Abstand Kante-Pixelmitte [µm]Abbildung 5.28: Simulation zur Bestimmung der Breite der Linienbildfunktion. Links:Vorgehensweise. Die Kante wird entlang der x-Achse verschoben. Rechts: Breite der Linienbildfunktionfür verschiedene Positionen im Pixel.experimentell ermittelte Wert nur eine Größenordnung der Ortsauflösung angeben, füreine genauere Bestimmung müßte die Messung für verschiedene Positionen der Strukturwiederholt werden, was jedoch aus technischen Gründen (exakte Verschiebung derStruktur im µm-Bereich) schwierig ist.Die mittlere simulierte Breite der Linienbildfunktion ist mit σ Linie ≈ 7.1µm kleiner alsder mittlere simulierte Rekonstruktionsfehler von σrek tot ≈ 9.8µm. Der experimentell ermittelteWert für die Breite der Linienbildfunktion stimmt daher gut mit den theoretischenVorhersagen überein.In Abbildung 5.29 ist das Bild einer weiteren 10µm-dicken Wolfram-Struktur gezeigt. Inder rechten Liniengruppe haben die Linien eine Breite von 20µm und einen Abstandvon 39µm, in den Liniengruppen daneben eine Breite von 17µm und einen Abstandvon 28µm bzw. eine Breite von 21µm und einen Abstand von 18µm. In der linkenLiniengruppe haben die Linien eine Breite von 9µm und einen Abstand von 19µm. InAbbildung 5.30 ist das 55 Fe-Schattenbild dieser Struktur bei einer Ortsrekonstruktionmit Hilfe der η-Funktion gezeigt. Es ist zu erkennen, dass sich selbst die schmalstenLinien noch auflösen lassen. Da in den einzelnen Gruppen die Zwischenräume zwischenden Linien hier jedoch nicht gleich breit wie die Linien selbst sind, lassen sich aus derAufnahme keine quantitativen Ergebnisse für die Ortsauflösung des Systemes gewinnen.5.5 ZusammenfassungUm die Ortsauflösung eines bildgebenden Systemes zu charakterisieren, werden verschiedeneDefinitionen verwendet. Für homogene und isotrope Systeme werden oftmals die