Bildgebung mit DEPFET - Prof. Dr. Norbert Wermes - Universität Bonn

110 KAPITEL 5. ORTSAUFLÖSUNG VON HALBLEITERSENSOREN40020 LP/mm(25 µm)10 LP/mm(50 µm)6,7 LP/mm(75 µm)5 LP/mm(100 µm)300 20 LP/mm(25 µm)250300200counts200counts150100100500-1000 -500 0 500 1000Projektionsachse [µm]0-1350 -1300 -1250 -1200 -1150 -1100 -1050Projektionsachse [µm]Abbildung 5.26: Projektion der Trefferverteilung für die 55 Fe-Messung auf eine Achsesenkrecht zu den Linienstrukturen. Links: Alle Linienpaare. Rechts: Ausschnitt des Bereichsmit 20 LP/mm.Ableitung der Linienkante50403020100-10Ortsauflösung:σ = 6,7 +/- 0,7 µm-20-300 -290 -280 -270 -260 -250 -240Projektionsachse [µm]Abbildung 5.27: Ableitung der Trefferverteilung in der Umgebung einer Linienkante.MTF 0.3Fe55 eta = (37 ± 3) LPmm(5.22)Ein analoges Vorgehen bei der Ortsrekonstruktion durch lineare Interpolation liefert eineOrtsauflösung von σ Fe55 lin = (7.1 ± 0.7)µm bzw. MTFFe55 0.3lin = (35 ± 3)LP/mm. DieLinienbildfunktion bei einer Ortsrekonstruktion mittels linearer Interpolation ist dahernur wenig breiter als bei einer Rekonstruktion mit Hilfe der η-Funktion, auch wenn deroptische Eindruck wesentlich schlechter ist. Dies bestätigt das Ergebnis des in Kapitel5.3.3.1 durchgeführten Vergleiches der mittleren Rekonstruktionsfehler für die verschiedenenAlgorithmen.Bei der Aufnahme eines 109 Cd-Schattenbildes 16 der Struktur, welches mit einer geringeren16 Die zwei benachbarten Röntgenlinien von 109 Cd liegen bei K α = 22.1 keV und K β = 24.9 keV.