Bildgebung mit DEPFET - Prof. Dr. Norbert Wermes - Universität Bonn

108 KAPITEL 5. ORTSAUFLÖSUNG VON HALBLEITERSENSORENFAUST0,6 mm2,0 mm1,0 mm100 um 75 um50 um 25 um3,0 mmAbbildung 5.24: Zeichnung der zur Messung der Ortsauflösung verwendeten Struktur.leren Energie von 5.7 keV) wird bei einem gemessenen Rauschen des DEPFET-Detektorsvon SNR ≈ 120e − z.B. eine Ortsauflösung in der Größenordnung von ≈ 9.3µm erwartet.5.4.2 Messung der Ortsauflösung mit einer TeststrukturWie in Kapitel 5.1 beschrieben wurde, wird bei bildgebenden Systemen zur Charakterisierungder Ortsauflösung oftmals auch die Modulationstransferfunktion MTF verwendet.Um diese zu bestimmen, wurden mit verschiedenen Röntgenquellen Schattenbilder derin Abbildung 5.24 gezeigten Struktur aufgenommen. Das 75µm dicke Wolframplättchenenthält 4 Gruppen von Linienpaaren. Jede dieser Gruppen besteht aus 5 gleichgroßen linienförmigenAussparungen, welche durch Stege mit der Breite der Aussparungen voneinandergetrennt sind. Die Breite der Linien und Stege betrug für die verschiedenen Gruppen100µm, 75µm, 50µm bzw. 25µm, was Ortsfrequenzen von 5LP/mm, 6.7LP/mm,10LP/mm und 20LP/mm entspricht.In Abbildung 5.25 ist das mit dem DEPFET Pixel Bioscope aufgenommene 55 Fe- Schattenbild15 der Struktur gezeigt, wobei die Struktur zur Vermeidung von sog. Aliasing-Effekten [Ove98] unter einem Winkel von 45 ◦ auf den Detektor gelegt wurde. Beim linkender beiden Bilder wurde zur Ortsrekonstruktion die lineare Interpolation, beim rechtenhingegen die η-Funktion verwendet. Der leichte Schatten um die Struktur ist auf einedünne Kaptonfolie zurückzuführen, welche zum Schutz des Detektors zwischen Detektorund Probe gelegt wurde. Wie im vorigen Kapitel beschrieben wurde, stand für eine Messungder Ortsauflösung mit einer Lookup-Tabelle keine Tabelle zur Verfügung, da diemit dem Laser ermittelten Daten nicht ohne weiteres auf Messungen mit radioaktivenQuellen übertragbar sind. In diesem Kapitel wird daher die Rekonstruktion mit einerLookup-Tabelle nicht weiter untersucht.15 Die zwei benachbarten Röntgenlinien von 55 Fe liegen bei K α = 5.895 keV und K β = 6.492 keV.