Bildgebung mit DEPFET - Prof. Dr. Norbert Wermes - Universität Bonn
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ealisiert werden, der ein vollständiges Löschen der Pixel erlaubt. Zudem müssen die Pixeleine Größe von < 30µm aufweisen und die Spannungsabfälle in einer <strong>DEPFET</strong>-Matrixmüssen durch die Einführung einer zweiten Metallage im Fertigungsprozeß reduziert werden.Momentan werden am MPI Halbleiterlabor in München <strong>DEPFET</strong>-Teststrukturenfür den Einsatz bei TESLA hergestellt [Ric03]. Die wesentliche Anforderung an die Ausleseelektronikist eine präzise Strommessung <strong>mit</strong> einer hohen Geschwindigkeit (50 MHzZeilentakt) und gleichzeitiger Strahlenhärte. Ein erster Testchip für den Einsatz bei TES-LA wurde bereits an der Universität <strong>Bonn</strong> entwickelt [Tri03].Für das Experiment XEUS in der Röntgenastronomie liegt der wesentliche Vorteil von<strong>DEPFET</strong>-Detektoren gegenüber den alternativ einsetzbaren sog. pn-CCDs in der schnellerenund flexibleren Auslese. Zum einen ist das Verhältnis von Integrations- zu Auslesezeitum bis zu einen Faktor 100 höher [Hol99], zum anderen wird das Problem von sog.”Geistertreffern” vermieden, die im Falle von CCDs durch das Verschieben der Signalladungenund der dadurch möglichen falschen Zuordnung von Trefferereignissen entstehen.Zudem können einzelne Matrixbereiche <strong>mit</strong> hohen Trefferraten häufiger ausgelesen werdenals der Rest der Matrix und es besteht die Möglichkeit einer mehrfachen Auslesevon <strong>DEPFET</strong>-Pixeln, durch welche das Rauschen theoretisch auf ENC = 1e − reduziertwerden kann [Kle00]. Die Anforderungen an die Pixelgröße sind bei diesem Experimentgeringer (Pixelbreite ≈ 75µm) als bei TESLA, allerdings muß hier besonderer Wert aufdie Produktion extrem rauscharmer Transistorstrukturen (insbesondere 1/f-Rauschen)gelegt werden. Genau wie in der Teilchenphysik ist hier ein vollständiges Löschen derDetektoren erforderlich. Zur Zeit werden am MPI Halbleiterlabor in München <strong>DEPFET</strong>-Teststrukturen für den Einsatz bei XEUS produziert.131