Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 100
Transmission [%]
96
95,5
95
94,5
94
93,5
93
ungetestetes plasmabehandeltes PMMA mit SiO2-Schutzschicht
nach 128h
92,5
92
nach 160h
nach 304h
350 400 450 500 550 600 650 700 750 800
Wellenlänge [nm]
Abb. 82: Gemessene Transmission von plasmabehandeltem PMMA mit SiO 2-Schicht (14 sccm Ar,
30 sccm O 2, 120 V, 300 s) nach Durchführung von Klimatest #3 (55°C, 95% Feuchte) bei
verschieden langen Testphasen.
a) b)
Abb. 83: AFM-Profilaufnahmen (1 x 1 µm² Scans) von Ar/O 2-plasmabehandelten PMMA-Substraten mit
SiO 2-Schutzschicht (Höhenskala: 70 nm)
(a) ohne Klimatest
(b) nach Klimatest #3 (55°C, 95%, 304 Stunden).
Ebenso wurden die SiO 2-beschichteten Entspiegelungsstrukturen dem Klimatest #4 ausgesetzt,
der mit 85°C und 30% Feuchte definiert war. Dieser Test zeigte nach 72 Stunden eine mittlere
Transmissionsabnahme im Bereich der Messgenauigkeit. Auch nach einer Erhöhung der Testzeit
auf bis zu 288 Stunden wurden keine höheren Verluste detektiert.
Durch die Schutzschicht kann zum einen eine verbesserte Abriebfestigkeit und zum anderen
eine günstigere Klimastabilität erreicht werden. Da sich die optischen Eigenschaften durch
die Überschichtung nicht verschlechtern und die o. g. Ergebnisse für den industriellen
Einsatz von wichtiger Bedeutung sein können, wäre es sinnvoll, die durch die
Plasmabehandlung erzeugten AR-Strukturen immer mit einer SiO2-Schicht zu versehen.