Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...
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Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 70<br />
Tab. 12: Vergleich der ermittelten Strukturdimensionen unter Verwendung der AFM- und REM-Technik<br />
(Werte aus Querschnittsanalyse), 120 V, 14 sccm Ar, 30 sccm O 2<br />
Plasmabehandlungszeit<br />
[s]<br />
Strukturtiefe<br />
[nm]<br />
AFM REM<br />
laterale<br />
Ausdehnung<br />
[nm]<br />
gemittelter<br />
Abstand<br />
[nm]<br />
Strukturtiefe<br />
[nm]<br />
laterale<br />
Ausdehnung<br />
[nm]<br />
gemittelter<br />
Abstand<br />
[nm]<br />
50 19±4 55±14 66±11 - - -<br />
100 41±8 52±7 69±13 71±14 58±7 59±12<br />
150 55±19 57±11 81±9 122±7 59±5 61±14<br />
200 73±20 62±11 96±11 149±25 68±11 70±5<br />
300 104±26 74±9 109±9 245±23 69±8 70±20<br />
400 166±25 81±10 140±12 349±49 70±7 74±25<br />
600 209±44 79±12 158±9 658±37 69±9 73±22<br />
1000 - - - 716±55 88±13 -<br />
Die nachfolgenden Abbildungen 46 und 47 dokumentieren eindrucksvoll die o. g. Unterschiede in<br />
der Strukturtiefe zwischen den Ergebnissen beider Messmethoden.<br />
(a)<br />
(b)<br />
Abb. 46: (a) AFM-Aufnahme (1 x 1 µm² Scans) <strong>von</strong> PMMA nach 100 s Ar/O 2-Plasmabehandlung<br />
(b) AFM-Profilaufnahme (1 x 1 µm² Scans) <strong>von</strong> PMMA nach 100 s Ar/O 2-Plasmabehandlung<br />
(c) REM- Aufnahme (50 000x Vergrößerung) <strong>von</strong> PMMA nach 100 s Ar/O 2-Plasmabehandlung<br />
unter Konstanthaltung der anderen Parameter (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 120 V).<br />
(c)
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