Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 3: Experimenteller Teil 52
Substrat) verbunden. Die SMG verfügt über ein 6-Kanal-Messsystem, wodurch die
Temperaturaufnahme an 6 verschiedenen Messpositionen möglich ist. Die Messsensoren
(Thermoelemente) können z. B. auf der Substratvorderseite bzw. –rückseite oder auf der
Kalotte aufgebracht werden. Nach Prozessende wird die M.O.L.E. ® über eine serielle
Schnittstelle mit dem Computer verbunden, um die aufgezeichneten Zeit- und
Temperaturinformationen mittels spezieller Software auswerten zu können. Neben der
Bestimmung der Temperatur, die innerhalb der aufgenommenen Prozessgesamtzeit für jede
beliebige Position (zeitlich) möglich ist, können z. B. auch die Durchschnittstemperatur und die
Standardabweichung angegeben werden. Laut Herstellerdaten reicht der mögliche
Temperaturmessbereich von –129°C bis 1250°C. Die interne Betriebstemperatur wird mit
0°C bis 65°C angegeben, Temperaturen außerhalb dieses Bereiches können zu ungenauen
Messungen führen. Die Messgenauigkeit der Temperatur beträgt ≈ ±1°C bei einer Auflösung
von 0,56°C. Das programmierbare Messintervall liegt zwischen 0,1 s und 24 h [130].
Während der Plasmabehandlungen wurde der Temperaturverlauf auf der Probenvorderseite
aufgezeichnet. Für die durchgeführten Temperaturmessungen wurde ein Messintervall von
0,2 s festgelegt.
3.4.3 Klimatische Untersuchungen
Für die Untersuchung der Klimabeständigkeit kam der Klimaschrank SB 22300 der Fa.
Weiss zum Einsatz. Die Durchführung der Klimatests erfolgte gemäß DIN ISO 9022 [131].
Diese Standardklimatests werden hauptsächlich als Umweltprüfverfahren für die Optik und
optische Instrumente eingesetzt werden (z. B. Testung der Klimastabilität von
Beschichtungen). Tab. 10 zeigt die in dieser Arbeit eingesetzten Tests.
Tab. 10: Durchgeführte Klimatests nach DIN ISO 9022 (*laut DIN ISO ist nur die angegebene Dauer
notwendig, es wurde aber das Klimaverhalten über eine längere Zeitdauer getestet)
Nr. Temperatur [°C] Feuchte [%] Dauer [h] Methode Schärfegrad
1 -25 - 16 10 5
2 70 30 6* 11 5
3 55 95 16 12 7
4 85 30 6* 11 6