Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...
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Kapitel 3: Experimenteller Teil 39<br />
Tab. 5: Variation der Behandlungszeit unter Verwendung des Reaktivgases Stickstoff<br />
Versuchsreihe Behandlungszeit<br />
Prozessparameter<br />
eingestellte Bias-<br />
Spannung<br />
2 300 s … 600 s 120 V<br />
Tab. 6: Variation der Behandlungszeit und der Bias-Spannung<br />
Versuchsreihe Behandlungszeit<br />
Prozessparameter<br />
eingestellte Bias-<br />
Spannung<br />
3 50 s … 1000 s 120 V<br />
4 200 s … 800 s 80 V<br />
5 200 s … 600 s 100 V<br />
Plasmagas<br />
Ar/N2<br />
(14 sccm/30 sccm)<br />
Plasmagas<br />
Ar/O2<br />
(14 sccm/30 sccm)<br />
Ar/O2<br />
(14 sccm/30 sccm)<br />
Ar/O2<br />
(14 sccm/30 sccm)<br />
Tab. 7: Variation der Behandlungszeit, der Bias-Spannung und des Reaktivgases Sauerstoff<br />
Versuchsreihe<br />
Behandlungszeit<br />
Prozessparameter<br />
eingestellte Bias-<br />
Spannung<br />
6 300 s … 1000 s 80 V … 120 V<br />
Ar<br />
(14 sccm)<br />
Plasmagas<br />
O2<br />
(10 sccm ... 30 sccm)
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