Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 67
4.3 Topographische Untersuchungen der plasmabehandelten PMMA-
Oberflächen
In den vorherigen Abschnitten wurde der Zusammenhang zwischen den Plasmaparametern und
und den dadurch auf PMMA erzeugten optischen Eigenschaften detailliert diskutiert. Auf die
Topographie der plasmabehandelten Oberfläche wurde dabei nur geringfügig eingegangen. Aus
diesem Grund sollen an dieser Stelle die Struktureigenschaften näher untersucht und beschrieben
werden. Neben der Darstellung der erhaltenen Ergebnisse aus den verwendeten
Oberflächenmessverfahren AFM und REM wird auch auf die Vor- und Nachteile der einzelnen
Methoden eingegangen.
Die nachfolgend aufgeführten Ergebnisse zur Topographie wurden unter Verwendung der
folgenden Plasmaparameter erhalten. Unter Konstanthaltung der Anlagenparameter:
- Ar-Gaseinlass: 14 sccm
- O2-Gaseinlass: 30 sccm
- Bias-Spannung: 120 V
wurde die Behandlungszeit von 50 s bis 1000 s variiert.
Die während der Plasmabehandlung einsetzende Transmissionsänderung (Abb. 31) kann durch die
nachfolgend gezeigten AFM-Aufnahmen (Abb. 44) belegt werden, aus denen der
Strukturbildungsprozess deutlich wird. Die AFM-Untersuchungen zeigen eindrucksvoll, wie sich
mit zunehmender Behandlungszeit die stochastische Oberflächenstruktur ausbildet. Aus einer
zunächst sehr feinkörnigen Struktur (Abb. 44 a und b) bilden sich mit fortschreitender Ätzzeit
größere Agglomerate (Abb. 44 c und d) heraus.
(a) (b)