Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 64
Transmission [%]
96
95
94
93
92
91
90
89
88
87
86
Anlage ist frisch gereinigt und konditioniert (Fall 1)
Anlage ist stark belegt (Fall 3)
Anlage ist gereinigt und nicht konditioniert (Fall 2)
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
Wellenlänge [nm]
Abb. 38: Gemessene Transmissionen von PMMA bei drei verschiedenen Anlagenzuständen mit
konstanter Parametereinstellung (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 120 V, 300 s).
Ein weiterer Einfluss wird möglicherweise auch durch das verwendete Anodenrohr hervorgerufen.
Die nachfolgende Grafik (Abb. 39) zeigt die Veränderungen in den Transmissionskurven (bei
konstanten Prozessparametern) nach Austausch des Anodenrohres. Der Einfluss ist gering, jedoch
nicht zu vernachlässigen.
Transmission [%]
96
95
94
93
92
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
Wellenlänge [nm]
belegtes Anodenrohr, 6. Prozess
gereinigtes Anodenrohr, 1. Prozess
gereinigtes Anodenrohr, 2. Prozess
Abb. 39: Gemessene Transmissionen in Abhängigkeit vom Zustand der Anodenrohre bei konstanten
Prozessparametern (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 120 V, 300 s).
4.2 Optische Eigenschaften nach der optimierten Plasmabehandlung
Die Kombination von Argon und Sauerstoff im Plasma führt nach einer Behandlungszeit von
einigen hundert Sekunden zu exzellenten Antireflexeigenschaften auf der PMMA-Oberfläche [5].
Die entstandene Oberflächenentspiegelung ist sehr breitbandig (über den gesamten sichtbaren
Spektralbereich) und farbneutral. Optimale Reflexions- und Transmissionsergebnisse von ein-
bzw. beidseitig plasmabehandelten PMMA-Proben werden in den Abbildungen 40 und 41
gezeigt. Die verwendeten Parameter waren: 14 sccm Ar, 30 sccm O2, 120 V, 300 s.
Eine beidseitig modifizierte PMMA-Probe erreicht nach der Plasmabehandlung eine mittlere