Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 55
Transmission [%]
96
94
92
90
88
86
4
1
2
5
6
3
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
Wellenlänge [nm]
1 - unbehandeltes PMMA
2 - 0 sccm O2
3 - 10 sccm O2
4 - 20 sccm O2
5 - 30 sccm O2
6 - 35 sccm O2
Abb. 26: Einfluss des Sauerstoffanteils während der Plasmabehandlung von PMMA auf die Trans-
missionszunahme unter Konstanthaltung der anderen Parameter (14 sccm Ar, 120 V, 300 s).
Ein O2-Anteil von 10 sccm führt zu einem Anstieg der Transmission vor allem im kurzwelligen bis
sichtbaren Spektralbereich. Eine Erhöhung des Gaseinlasses auf 20 sccm verbessert das spektrale
Ergebnis um durchschnittlich 1,5%. Eine Verschiebung des Transmissionsmaximums wird durch
einen Sauerstoffanteil von 30 sccm erreicht. Das Maximum der Transmission wird nun im Zentrum
des sichtbaren Spektralbereiches detektiert, zuvor lag dieses im kurzwelligen Bereich des VIS.
Eine Erhöhung des O2-Anteils auf 35 sccm führt zu keiner Transmissionsverbesserung. Vielmehr
treten optische Verluste in Form von Reflexionserhöhung und Absorptionszunahme, sowie
wahrscheinlich Streulicht auf. Die Abbildungen 27 und 28 zeigen die Veränderungen der Reflexion
bzw. Absorption für drei verschiedene Sauerstoffanteile im Plasma.
Reflexion [%]
10
9
8
7
6
5
4
3
2
1
0
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
Wellenlänge [nm]
unbehandeltes PMMA
20 sccm O2
30 sccm O2
35 sccm O2
Abb. 27: Einfluss des Sauerstoffanteils während der Plasmabehandlung von PMMA auf die Reflexion
unter Konstanthaltung der anderen Parameter (14 sccm Ar, 120 V, 300 s).