Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 68
(c) (d)
Abb. 44: AFM-Aufnahmen (1 x 1 µm² Scans) von PMMA-Substraten nach verschieden langen Ar/O 2-
Plasmabehandlungen unter Konstanthaltung der anderen Parameter (14 sccm Ar, 30 sccm O 2,
120 V)
(a) nach 50 s (Höhenskala: 50 nm); (b) nach 100 s (Höhenskala: 100 nm)
(c) nach 300 s (Höhenskala: 400 nm); (d) nach 600 s (Höhenskala: 400 nm).
Abb. 45 a) zeigt die Struktur im Oberflächenprofil nach einer Ar/O2-Plasmabehandlung (300 s).
Im Gegensatz zur erhaltenen Struktur führt eine 300 s Ar-Plasmabehandlung nur zu einer sehr
geringen Aufrauung (Abb. 45 b). Die entstandene Rauheit unterscheidet sich nur geringfügig von
der einer unbehandelten PMMA-Oberfläche (Abb. 45 c). Eine Ar/N2-Plasmabehandlung (Abb.
45 d) zeigt sehr geringe Strukturenhöhen (< 5 nm).
(a) (b)
(c) (d)
Abb. 45: AFM-Profilaufnahmen (1 x 1 µm² Scans)
(a) Ar/O 2-plasmabehandeltes PMMA-Substrat nach 300 s Behandlungszeit (Höhenskala: 200 nm)
(b) Ar-plasmabehandeltes PMMA-Substrat nach 300 s Behandlungszeit (Höhenskala: 5 nm)
(c) unbehandeltes PMMA-Substrat (Höhenskala: 5 nm)
(d) Ar/N 2-plasmabehandeltes PMMA-Substrat nach 300 s Behandlungszeit (Höhenskala: 5 nm).