Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 60
Entspiegelungswirkung auf PMMA hervorzurufen. Nach 600 s werden sehr gute optische
Eigenschaften mit einer mittleren Transmission von 95,38% erreicht. Um optimale
Antireflexeigenschaften (Transmission > 95%) zu erreichen, muss die geringere Bias-Spannung
demzufolge durch eine verlängerte Behandlungsdauer kompensiert werden. Bei weiterer Erhöhung
der Behandlungszeit (800 s) wird die Transmission durch den zunehmenden Streulichtanteil
vermindert. Auf die Darstellung der Streulichtkurven wird an dieser Stelle verzichtet, da sich eine
ähnliche Tendenz, wie in Abb. 32 gezeigt, einstellt.
Transmission [%]
98
97
96
95
94
93
92
91
90
5
1
4
2
3
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
Wellenlänge [nm]
1 - unbehandeltes PMMA
2 - nach 200 s Plasmabehandlung
3 - nach 400 s Plasmabehandlung
4 - nach 600 s Plasmabehandlung
5 - nach 800 s Plasmabehandlung
Abb. 33: Gemessene Transmissionen von PMMA nach unterschiedlichen Plasmabehandlungszeiten unter
Konstanthaltung der anderen Parameter (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 80 V).
Die Plasmabehandlungen bei mittleren Ionenenergien (100 V Bias-Spannung) weisen ein analoges
Verhalten wie die Behandlungen bei 80 V auf (siehe Abb. 34). Hier werden
Transmissionswerte > 95% sowohl nach 400 s als auch nach 600 s erreicht, allerdings liegen die
Transmissionsmaxima an verschiedenen Positionen.
Transmission [%]
98
97
96
95
94
93
92
91
3
1
4
2
90
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100
Wellenlänge [nm]
1 - unbehandeltes PMMA
2 - nach 200 s Plasmabehandlung
3 - nach 400 s Plasmabehandlung
4 - nach 600 s Plasmabehandlung
Abb. 34: Gemessene Transmissionen von PMMA nach unterschiedlichen Plasmabehandlungszeiten unter
Konstanthaltung der anderen Parameter (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 100 V).