Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat durch ...

Kapitel 4: Ergebnisse und Diskussion 76
Reflexion [%]
8
7
6
5
4
3
2
350 400 450 500 550 600 650 700 750 800
Wellenlänge [nm]
ungetestetes plasmabehandeltes PMMA
nach 16h
nach 48h
nach 240h
nach 272h
Abb. 54: Gemessene Reflexionen von plasmabehandeltem PMMA (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 120 V,
300 s) nach Durchführung von Klimatest #3 (55°C, 95% Feuchte) bei verschieden langen
Testphasen.
In einem weiteren Test #4 wurde die Klimastabilität bei 85°C und 30% Feuchte untersucht. Diese
Klimakombination ist für die plasmaerzeugten Antireflexstrukturen ebenfalls kritisch, obwohl eine
geringere Feuchtigkeit (verglichen mit Klimatest #3) eingesetzt wurde. Das Testergebnis zeigt,
dass nach 72 Stunden ein Transmissionsverlust von etwa 1,6% im Bereich von 420 nm bis
670 nm auftritt. Nach einer Testphase von 288 Stunden steigt dieser auf mehr als 2% an. Eine
erneute Verlängerung des Klimazyklus zeigte keine weitere Transmissionsverminderung (Abb. 55).
Die detektierte Abnahme der Transmission spiegelt sich ebenfalls im Anstieg der Reflexion (siehe
Abb. 56) wider.
Transmission [%]
95
94
93
92
91
90
89
88
350 400 450 500 550 600 650 700 750 800
Wellenlänge [nm]
ungetestetes plasmabehandeltes PMMA
nach 72 h
nach 144 h
nach 288 h
nach 360 h
Abb. 55: Gemessene Transmissionen von plasmabehandeltem PMMA (14 sccm Ar, 30 sccm O 2, 120 V,
300 s) nach Durchführung von Klimatest #4 (85°C, 30% Feuchte) bei verschieden langen
Testphasen.