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Couches minces d'oxyde d'étain: la localisation faible et les effets de ...

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5tel-00589730, version 1 - 1 May 2011<strong>Couches</strong> polycristallines <strong>de</strong>nanocristallites : le cas particulier<strong>de</strong> SnO 25.1 Les couches polycristallines <strong>de</strong> SnO 2Le dioxy<strong>de</strong> d’étain (SnO 2 ) a été un <strong>de</strong>s premiers oxy<strong>de</strong>s métalliques envisagés pour<strong>la</strong> fabrication <strong>de</strong> capteurs <strong>de</strong> gaz [Batzill (2006)]. De nombreuses étu<strong>de</strong>s <strong>de</strong> <strong>la</strong> structure<strong>de</strong> surface <strong>de</strong> SnO 2 <strong>et</strong> <strong>de</strong>s propriétés <strong>de</strong>s états électroniques correspondants à c<strong>et</strong>testructure <strong>de</strong> surface ont été menées [Batzill & Diebold (2005)]. Cependant, presqu<strong>et</strong>outes <strong>les</strong> étu<strong>de</strong>s, connues sous le nom <strong>de</strong> “sciences <strong>de</strong> <strong>la</strong> surface”, concernent <strong>les</strong> propriétés<strong>de</strong> surfaces <strong>de</strong> monocristaux en l’atmosphère bien définie ou dans l’ultra vi<strong>de</strong>[Batzill (2006)].En général, le dioxy<strong>de</strong> d’étain est un semiconducteur <strong>de</strong> type n à gran<strong>de</strong> ban<strong>de</strong>interdite (E g = 3.6eV Lanfredi <strong>et</strong> al. (2009), Agekyan (1977), Smart & Moore (2005),Mäki Jaskari & Ranta<strong>la</strong> (2001), Manassidis <strong>et</strong> al. (1995), Jarzebski & Marton (1976))<strong>et</strong> a une structure cristalline <strong>de</strong> type rutile (voir Figure (5.1)).Le dioxy<strong>de</strong> d’étain trouve <strong>de</strong>s applications dans le développement <strong>de</strong> capteurs <strong>de</strong>gaz Tan <strong>et</strong> al. (2008), <strong>de</strong> cellu<strong>les</strong> photovoltaïques, <strong>de</strong> photoconducteurs, <strong>de</strong> couchesconductrices transparentes [Ksenevich <strong>et</strong> al. (2008) - <strong>et</strong> références]. Pour ce qui concerne<strong>les</strong> capteurs <strong>de</strong> gaz, fabriqués à base <strong>de</strong> SnO 2 , <strong>la</strong> surface du matériau est chauffée àune température constante (habituellement, plusieurs centaines <strong>de</strong> ◦ C [Korotchenkov95

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