Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

9. Zusammenfassung und Ausblick
Dabei stellte sich heraus, dass im realen Messaufbau des Gesamtsystems die Auswirkungen
der Einflussgrößen aufgrund der Rückkopplung ohne separate messtechnische Erfassung
kaum voneinander trennbar sind.
Deshalb wurde ein parallel über den Verlauf der Arbeit ständig erweitertes Simulationsmodell
verwendet, in welches die Messergebnisse der Subsystemuntersuchungen integriert wurden.
Somit konnte das Verhalten des realen Shutters einschließlich der relevanten Komponenten
mit guter Genauigkeit nachgebildet werden, um aufgrund der Simulationsergebnisse eine
Aussage über die Gewichtung einzelner Einflussgrößen hinsichtlich deren Auswirkung auf
die Robustheit/Stabilität der Regelung in „Worst-Case“ Betriebssituationen zu treffen.
Durch eine Bestimmung der Temperaturentwicklung des Aktors wäre vermutlich eine
vollständige Kompensation des Temperaturgangs der Regelgröße möglich.
108