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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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6. Verifikation des Regelungssystems<br />

in guter Übereinst<strong>im</strong>mung mit den Herstellerspezifikationen steht. Hieraus wird die<br />

Herstellerkennlinie nun mit diesem Wert reproduziert, wie in Abbildung 6-17 dargestellt.<br />

VBrücke [mV/Vcc]<br />

120<br />

100<br />

80<br />

60<br />

40<br />

20<br />

0<br />

‐20<br />

Abbildung 6-17: reproduzierte Sensorkennlinie<br />

Durch Invertierung dieser Kennlinie und anschließender Reihenschaltung/Multiplikation mit<br />

der gemessenen Kennlinie, wie <strong>im</strong> Signalflussplan in Abbildung 6-18 aufgezeigt, kann nun<br />

die vom Sensor „gesehene“ Kennlinie des Sensormagneten mit numerischen<br />

Interpolationsverfahren in der S<strong>im</strong>ulationssoftware S<strong>im</strong>ulink rekonstruiert werden. Das<br />

Ergebnis wird in Abbildung 6-19 dargestellt. Hierin wird deutlich, dass der nichtlineare<br />

Abfall der Kennlinie durch den Sensormagneten verursacht wird.<br />

120<br />

100<br />

80<br />

60<br />

40<br />

20<br />

0<br />

0 5 10 15 20 25 30<br />

B lin<br />

0,0 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5 3,0 3,5 4,0<br />

Sensorkennlinie<br />

Flussdichte B[mT]<br />

Abbildung 6-18: Signalflussplan zur Rekonstruktion der Magnetkennlinie<br />

54<br />

30<br />

25<br />

20<br />

15<br />

10<br />

5<br />

0<br />

Vout[mV/Vcc]<br />

‐10 10 30 50 70 90 110<br />

Dieses Ergebnis wird nun verifiziert, indem, wie in Kap. 6.2.3 erläutert, die Kennlinie des<br />

Magneten in der magnetischen Finite Elemente Software femm s<strong>im</strong>ulationstechnisch erzeugt<br />

wird. Die Gegenüberstellung der beiden Kennlinien wird in Abbildung 6-19 veranschaulicht.<br />

B sat<br />

V sat<br />

V peak<br />

V off

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