Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

6. Verifikation des Regelungssystems
Die Ergebnisse für den digitalen Regler, die im RTS ermittelt werden, können deshalb nicht
unverändert auf den verwendeten Analogregler übertragen, werden wie in Abschnitt 6.3.2
weiterführend diskutiert wird.
6.2. Analyse der Störgrößen
Um Einflussgrößen auf das Regelverhalten in einer anschließenden Robustheitsuntersuchung
des Gesamtsystems zu analysieren, werden nun wesentliche Bauteile auf mögliche innere
Störgrößen getrennt untersucht, um diese hinsichtlich ihrer Auswirkungen zu gewichten.
Diese Störungen können sich während der Lebensdauer des Shutters bilden, wobei deren
Wirkung das Regelverhalten der Positionsregelung beeinträchtigen kann.
Für eine weiterführende Betrachtung einer „Worst-Case“-Betriebssituation werden zusätzlich
Störgroßen von verschiedenen Bauteilen anhand von ESA bzw. Herstellerspezifikationen
ermittelt, welche in Tabelle 11-10 angeführt werden. Deren maximal mögliche
störungsabhängige Parameterschwankungen sind sehr klein, so dass sie nur im Worst-Case-
Fall von Relevanz sind, wenn also die Fehlerauswirkung einzelner Bauteilparameter in der
Summe zu einem maximal möglichen Gesamtfehler führt.
6.2.1. Mechanische Struktur
In Abbildung 6-32 wird der Eingriffspunkt möglicher Störeinflüsse auf die mechanische
Shutterstruktur dargestellt.
Abbildung 6-32: Signalflussplan der Positionsregelstrecke
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