Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...
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6. Verifikation des Regelungssystems<br />
Durch die sehr niedrige Dämpfung liegen die Resonanzfrequenz fR und die ungedämpfte<br />
Eigenkreisfrequenz f0 also sehr dicht beieinander, wodurch sie messtechnisch nicht mehr<br />
getrennt werden können.<br />
Analog zu elektrischen Schwingkreisen ist auch <strong>für</strong> die mechanische Resonanz ein Gütefaktor<br />
definiert: √<br />
<br />
<br />
<br />
Um hiermit die Ergebnisse exper<strong>im</strong>entell zu bestätigen, wird der Amplitudengang <strong>im</strong> Bereich<br />
der Resonanz mit erhöhter Auflösung gemessen und daraus die Resonanzbandbreite zwischen<br />
den -3dB Eckfrequenzen zu B=0.1145Hz ermittelt, wie Abbildung 6-7 dargestellt.<br />
Amplitude[dB]<br />
55<br />
54<br />
53<br />
52<br />
51<br />
50<br />
49<br />
48<br />
47<br />
46<br />
45<br />
B(‐3dB)=0.1145Hz<br />
Dämpfungsermittlung<br />
59,3 59,35 59,4 59,45 59,5<br />
Frequenz[Hz]<br />
Abbildung 6-7: Ermittlung der Dämpfung über die Resonanzbandbreite<br />
Damit folgt mit d=179.22·10 -6 größenordnungsmäßig gute Übereinst<strong>im</strong>mung mit dem obigen<br />
Wert.<br />
Mit den Parametern c, d und m ist die mechanische Struktur damit vollständig best<strong>im</strong>mt und<br />
kann s<strong>im</strong>ulationstechnisch nachgebildet werden.<br />
45<br />
‐30<br />
‐50<br />
‐70<br />
‐90<br />
‐110<br />
‐130<br />
‐150<br />
Phase[deg]<br />
‐3dB<br />
Amplitudeng<br />
ang SR4 (<br />
normiert)<br />
Phasengang<br />
SR4
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