Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

Amplitude[dB]
Abbildung 6-5: Frequenzgang der Regelstrecke
6. Verifikation des Regelungssystems
‐120
0 50 100 150 200
‐150
Bestimmung der Streckenparameter aus den Messergebnissen:
Da sich die Frequenzgänge der verschiedenen Shutterexemplare aufgrund unterschiedlicher
Parameter geringfügig unterscheiden, soll für die mathematische Modellbildung aus den
experimentell ermittelten Verläufen, durch Mittelwertbildung, ein allgemeineres Modell
erzeugt werden, das in Näherung auch für künftige Shutterexemplare repräsentativ ist. Zu
diesem Zweck wird der Frequenzgang der untersuchten Shutterexemplare im relevanten
Bereich um die Resonanzerhöhung mit einer Auflösung von 0.001Hz ermitteln, wie
exemplarisch aus Abbildung 6-6 ersichtlich ist.
A[dB]
50
40
30
20
10
0
‐10
‐20
‐30
55
50
45
40
35
30
25
20
15
A 0 =53dB
@f 0 =60,14Hz
f 0 =60,14Hz
@ ϕ 0=‐90°
Frequenzgang Strecke
Frequenz[Hz]
Resonanzüberhöhung der Strecke
55 57 59 61 63 65
Frequenz[Hz]
Abbildung 6-6: Bestimmung der dynamischen Kenndaten der Regelstrecke von SR4
43
0
‐30
‐60
‐90
‐180
0
‐30
‐60
‐90
‐120
‐150
‐180
Phase[deg]
Phase[deg]
Amplitude
(normiert)
Phase
Amplitude
(normiert)
Phase