Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

5. Verifikation der Lebensdauer
Der Auslenkvorgang wird ebenfalls stark verzögert. Um trotzdem die obere Sollwertlage zu
erreichen, führt dies zu einer Verlängerung der positiven Rechteckpulse. Auch die
Überwschwinger der oberen Solllage nehmen leicht zu. Da die obere Sollposition mit
zunehmender Testlaufzeit zunehmend später erreicht wird, kann sie nur noch kürzer bis zur
folgenden negativen Führungsflanke gehalten werden kann. Hierdurch verkürzt sich
wiederum der Strompuls in der Mitte, der nicht in die Begrenzung geht und dafür
verantwortlich ist, die Wippe in der oberen Sollwertlage auszuregeln.
Auslenkung x [mm]
Abbildung 5-5: Verringerung der Regelgüte im 100Hz Betrieb aufgrund der verringerten Verstärkung
U[V]
1,6
1,3
1
0,7
0,4
0,1
‐0,2
2,1
1,6
1,1
0,6
0,1
Auslenkung SR3
0 0,005 0,01 0,015 0,02
Abbildung 5-6: Verlauf des Sensorausgangssignals im 100Hz Test-Betrieb
t[s]
0 0,005 0,01 0,015 0,02
t[s]
Sensorsignal SR3
28
nach 0Zyklen
bzw. 0h
Laufzeit
nach 3.06E6
Zyklen bzw.
8.30h Laufzeit
nach 5.67E6
Zyklen bzw.
15.45h Laufzeit
nach 0Zyklen bzw. 0h Laufzeit
nach 3.06E6 Zyklen bzw. 8.30h
Laufzeit
nach 5.67E6 Zyklen bzw.
15.45h Laufzeit