Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

6. Verifikation des Regelungssystems
des Shutters zur Messung vorlag, wird die Messung mit einer ohmschen Last durchgeführt
und die Induktivität der Spule dann simulationstechnisch realisiert.
A[dB]
20
0
0,001
‐20
0,01 0,1 1 10 100 1000 10000
‐40
‐60
‐80
‐100
Abbildung 6-24: Normierte Amplitudengänge des Stromregelkreises
Phase[deg]
50
0
‐100
‐150
‐200
‐250
‐300
‐350
Frequenz[kHz]
Abbildung 6-25: Phasengang des Stromregelkreises
Stromregelkreis
Stromregelkreis
‐50
0,001 0,01 0,1 1 10 100 1000 10000
Frequenz[kHz]
Hierbei lässt sich jedoch wie bereits in [3] kein integrierendes Verhalten innerhalb des
Frequenzbereichs feststellen, der für die äußere Regelschleife von Relevanz ist. Die
Resonanzüberhöhung und Phasendrehung bei ca. 3Mhz resultiert aus dem
Übertragungsverhalten des NMOS-Transistors, dessen Grenzfrequenz an dieser Stelle liegt.
Auffällig bei der Gesamtbetrachtung des Stromregelkreises ist jedoch, dass unter
Berücksichtigung der Induktivitäten bei ca. 8kHz eine Resonanzüberhöhung festzustellen ist
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Amplitudengang
gemessen ‐ ohne
Induktivität
Amplitudengang
simuliert ‐ ohne
Induktivität
Amplitudengang
simuliert ‐ mit
Induktivität
Phasengang
gemessen ‐ ohne
Induktivität
Phasengang
simuliert ‐ ohne
Induktivität
Phasengang
simuliert ‐ mit
Induktivität